Mae TaC Coated Plate yn ddisg arbenigol a ddyluniwyd i'w ddefnyddio mewn prosesau epitaxial SiC, wedi'i saernïo'n fanwl gywir o ddeunydd graffit o ansawdd uchel. Mae ei wyneb wedi'i orchuddio'n fanwl â charbid tantalwm (TaC), cyfansoddyn sy'n adnabyddus am ei burdeb a'i gryfder eithriadol. Mae'r cotio TaC yn gwella gwydnwch y plât a'i wrthwynebiad i dymheredd uchel, gan ei wneud yn ddelfrydol ar gyfer amodau heriol prosesau epitaxial SiC.
Mae'r Plât Coated TaC arloesol hwn yn ddisg arbenigol a ddyluniwyd i'w ddefnyddio mewn prosesau epitaxial SiC, wedi'i saernïo'n fanwl gywir o ddeunydd graffit o ansawdd uchel. Mae arwyneb Plât Gorchuddio TaC wedi'i orchuddio'n fanwl â charbid tantalwm (TaC), cyfansoddyn sy'n adnabyddus am ei burdeb a'i gryfder eithriadol. yn llwyfan dibynadwy ar gyfer cario wafferi yn ystod gwahanol gamau o dwf epitaxial SiC. Mae ei sylfaen graffit purdeb uchel yn darparu arwyneb sefydlog ac anadweithiol, tra bod y cotio TaC yn ychwanegu haen ychwanegol o amddiffyniad rhag adweithiau cemegol a gwisgo.
SemigcyfnodMae Plât Gorchuddio TaC wedi'i addasu yn unol â gofynion penodol y cwsmeriaid, gan sicrhau'r perfformiad gorau posibl a'u cydnawsedd â'u systemau epitaxial SiC. P'un a yw'n faint, siâp, neu fanylebau eraill, mae'r platiau hyn wedi'u teilwra i ddiwallu anghenion unigryw pob cais.
gyda a heb TaC
Ar ôl defnyddio TaC (dde)
Ar ben hynny, Semicera ynCynhyrchion wedi'u gorchuddio â TaCarddangos bywyd gwasanaeth hirach a mwy o wrthwynebiad tymheredd uchel o'i gymharu âhaenau SiC.Mae mesuriadau labordy wedi dangos bod einHaenau TaCyn gallu perfformio'n gyson ar dymheredd hyd at 2300 gradd Celsius am gyfnodau estynedig. Isod mae rhai enghreifftiau o'n samplau:
