Semicera'sCasét Wafferiyn elfen hollbwysig yn y broses gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, a gynlluniwyd i ddal a chludo wafferi lled-ddargludyddion cain yn ddiogel. Mae'rCasét Wafferiyn darparu amddiffyniad eithriadol, gan sicrhau bod pob waffer yn cael ei gadw'n rhydd rhag halogion a difrod corfforol wrth drin, storio a chludo.
Wedi'i adeiladu â deunyddiau purdeb uchel, sy'n gwrthsefyll cemegolion, y SemiceraCasét Wafferiyn gwarantu'r lefelau uchaf o lanweithdra a gwydnwch, sy'n hanfodol ar gyfer cynnal cyfanrwydd wafferi ar bob cam o'r cynhyrchiad. Mae peirianneg fanwl y casetiau hyn yn caniatáu integreiddio di-dor â systemau trin awtomataidd, gan leihau'r risg o halogiad a difrod mecanyddol.
Mae dyluniad yCasét Wafferihefyd yn cefnogi rheoli llif aer a thymheredd gorau posibl, sy'n hanfodol ar gyfer prosesau sy'n gofyn am amodau amgylcheddol penodol. P'un a ddefnyddir mewn ystafelloedd glân neu yn ystod prosesu thermol, y SemiceraCasét Wafferiwedi'i beiriannu i gwrdd â gofynion llym y diwydiant lled-ddargludyddion, gan ddarparu perfformiad dibynadwy a chyson i wella effeithlonrwydd gweithgynhyrchu ac ansawdd y cynnyrch.
| Eitemau | Cynhyrchu | Ymchwil | Dymi |
| Paramedrau Grisial | |||
| Polyteip | 4H | ||
| Gwall cyfeiriadedd wyneb | <11-20 >4±0.15° | ||
| Paramedrau Trydanol | |||
| Dopant | n-math Nitrogen | ||
| Gwrthedd | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramedrau Mecanyddol | |||
| Diamedr | 150.0±0.2mm | ||
| Trwch | 350 ±25 μm | ||
| Cyfeiriadedd fflat cynradd | [1-100]±5° | ||
| Hyd fflat cynradd | 47.5 ±1.5mm | ||
| Fflat uwchradd | Dim | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Bwa | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ystof | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Garwedd blaen (Si-wyneb) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Strwythur | |||
| Dwysedd microbibell | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Amhureddau metel | ≤5E10atomau/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| YDDS | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ansawdd Blaen | |||
| Blaen | Si | ||
| Gorffeniad wyneb | CMP Si-wyneb | ||
| Gronynnau | ≤60ea/wafer (maint≥0.3μm) | NA | |
| Crafiadau | ≤5ea/mm. Hyd cronnus ≤Diameter | Hyd cronnus ≤2 * Diamedr | NA |
| Croen oren / pyllau / staeniau / rhigolau / craciau / halogiad | Dim | NA | |
| Sglodion ymyl / indent / torri asgwrn / platiau hecs | Dim | ||
| Ardaloedd polyteip | Dim | Arwynebedd cronnus ≤20% | Arwynebedd cronnus ≤30% |
| Marcio laser blaen | Dim | ||
| Ansawdd Cefn | |||
| Gorffen yn ôl | C-wyneb CMP | ||
| Crafiadau | ≤5ea/mm, Hyd cronnus ≤2* Diamedr | NA | |
| Diffygion cefn (sglodion ymyl / mewnoliadau) | Dim | ||
| Garwedd cefn | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcio laser cefn | 1 mm (o ymyl uchaf) | ||
| Ymyl | |||
| Ymyl | Chamfer | ||
| Pecynnu | |||
| Pecynnu | Epi-barod gyda phecynnu gwactod Pecynnu casét aml-waffer | ||
| * Nodiadau: Mae "NA" yn golygu dim cais Gall eitemau na chrybwyllir gyfeirio at SEMI-STD. | |||
