Mae Semicera yn cyflwyno'rCludwr Casét Wafferi, ateb hanfodol ar gyfer trin wafferi lled-ddargludyddion yn ddiogel ac yn effeithlon. Mae'r cludwr hwn wedi'i beiriannu i fodloni gofynion llym y diwydiant lled-ddargludyddion, gan sicrhau amddiffyniad a chywirdeb eich wafferi trwy gydol y broses weithgynhyrchu.
Nodweddion Allweddol:
•Adeiladu Cadarn:Mae'rCludwr Casét Wafferiwedi'i adeiladu o ddeunyddiau gwydn o ansawdd uchel sy'n gwrthsefyll trylwyredd amgylcheddau lled-ddargludyddion, gan ddarparu amddiffyniad dibynadwy rhag halogiad a difrod corfforol.
•Aliniad Cywir:Wedi'i gynllunio ar gyfer union aliniad wafferi, mae'r cludwr hwn yn sicrhau bod wafferi'n cael eu cadw'n ddiogel yn eu lle, gan leihau'r risg o gamaliniad neu ddifrod yn ystod cludiant.
•Trin Hawdd:Wedi'i ddylunio'n ergonomegol er hwylustod, mae'r cludwr yn symleiddio'r broses lwytho a dadlwytho, gan wella effeithlonrwydd llif gwaith mewn amgylcheddau ystafell lân.
•Cydnawsedd:Yn gydnaws ag ystod eang o feintiau a mathau o wafferi, gan ei gwneud yn amlbwrpas ar gyfer anghenion gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion amrywiol.
Profwch amddiffyniad a chyfleustra heb ei ail gyda Semicera'sCludwr Casét Wafferi. Mae ein cludwr wedi'i gynllunio i fodloni'r safonau uchaf o weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, gan sicrhau bod eich wafferi yn aros mewn cyflwr perffaith o'r dechrau i'r diwedd. Ymddiried yn Semicera i ddarparu'r ansawdd a'r dibynadwyedd sydd eu hangen arnoch ar gyfer eich prosesau mwyaf hanfodol.
| Eitemau | Cynhyrchu | Ymchwil | Dymi |
| Paramedrau Grisial | |||
| Polyteip | 4H | ||
| Gwall cyfeiriadedd wyneb | <11-20 >4±0.15° | ||
| Paramedrau Trydanol | |||
| Dopant | n-math Nitrogen | ||
| Gwrthedd | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramedrau Mecanyddol | |||
| Diamedr | 150.0±0.2mm | ||
| Trwch | 350 ±25 μm | ||
| Cyfeiriadedd fflat cynradd | [1-100]±5° | ||
| Hyd fflat cynradd | 47.5 ±1.5mm | ||
| Fflat uwchradd | Dim | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Bwa | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ystof | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Garwedd blaen (Si-wyneb) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Strwythur | |||
| Dwysedd microbibell | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Amhureddau metel | ≤5E10atomau/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| YDDS | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ansawdd Blaen | |||
| Blaen | Si | ||
| Gorffeniad wyneb | CMP Si-wyneb | ||
| Gronynnau | ≤60ea/wafer (maint≥0.3μm) | NA | |
| Crafiadau | ≤5ea/mm. Hyd cronnus ≤Diameter | Hyd cronnus ≤2 * Diamedr | NA |
| Croen oren / pyllau / staeniau / rhigolau / craciau / halogiad | Dim | NA | |
| Sglodion ymyl / indent / torri asgwrn / platiau hecs | Dim | ||
| Ardaloedd polyteip | Dim | Arwynebedd cronnus ≤20% | Arwynebedd cronnus ≤30% |
| Marcio laser blaen | Dim | ||
| Ansawdd Cefn | |||
| Gorffen yn ôl | C-wyneb CMP | ||
| Crafiadau | ≤5ea/mm, Hyd cronnus ≤2* Diamedr | NA | |
| Diffygion cefn (sglodion ymyl / mewnoliadau) | Dim | ||
| Garwedd cefn | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Marcio laser cefn | 1 mm (o ymyl uchaf) | ||
| Ymyl | |||
| Ymyl | Chamfer | ||
| Pecynnu | |||
| Pecynnu | Epi-barod gyda phecynnu gwactod Pecynnu casét aml-waffer | ||
| * Nodiadau: Mae "NA" yn golygu dim cais Gall eitemau na chrybwyllir gyfeirio at SEMI-STD. | |||
