Plât cymorth susceptor gorchuddio tantalum carbideyn susceptor neu strwythur cynnal sydd wedi'i orchuddio â haen denau ocarbid tantalwm. Gellir ffurfio'r gorchudd hwn ar wyneb y daliwr trwy dechnegau megis dyddodiad anwedd corfforol (PVD) neu ddyddodiad anwedd cemegol (CVD), gan roi priodweddau uwch i'r daliwr.carbid tantalwm.
Mae Semicera yn darparu haenau carbid tantalwm (TaC) arbenigol ar gyfer gwahanol gydrannau a chludwyr.Mae proses cotio blaenllaw Semicera yn galluogi haenau carbid tantalwm (TaC) i gyflawni purdeb uchel, sefydlogrwydd tymheredd uchel a goddefgarwch cemegol uchel, gan wella ansawdd cynnyrch crisialau SIC / GAN a haenau EPI (Susceptor TaC wedi'i orchuddio â graffit), ac ymestyn oes cydrannau adweithyddion allweddol. Y defnydd o cotio tantalwm carbide TaC yw datrys y broblem ymyl a gwella ansawdd twf grisial, ac mae Semicera wedi torri tir newydd i ddatrys y dechnoleg cotio tantalwm carbide (CVD), gan gyrraedd y lefel uwch ryngwladol.
Ar ôl blynyddoedd o ddatblygiad, mae Semicera wedi goresgyn technolegCVD TaCgydag ymdrechion ar y cyd yr adran Ymchwil a Datblygu. Mae diffygion yn hawdd i ddigwydd ym mhroses twf wafferi SiC, ond ar ôl eu defnyddioTaC, mae'r gwahaniaeth yn arwyddocaol. Isod mae cymhariaeth o wafferi gyda a heb TaC, yn ogystal â rhannau Simicera ar gyfer twf grisial sengl.
Mae prif nodweddion platiau cymorth sylfaen wedi'u gorchuddio â charbid tantalwm yn cynnwys:
1. Sefydlogrwydd tymheredd uchel: Mae gan carbid Tantalum sefydlogrwydd tymheredd uchel rhagorol, gan wneud y plât cefnogi sylfaen wedi'i orchuddio yn addas ar gyfer anghenion cymorth mewn amgylcheddau gwaith tymheredd uchel.
2. Gwrthiant cyrydiad: Mae gan cotio carbid Tantalum ymwrthedd cyrydiad da, gall wrthsefyll cyrydiad cemegol ac ocsidiad, ac ymestyn oes gwasanaeth y sylfaen.
3. Caledwch uchel a gwrthsefyll gwisgo: Mae caledwch uchel cotio carbid tantalwm yn rhoi ymwrthedd gwisgo da i'r plât cymorth sylfaen, sy'n addas ar gyfer achlysuron sy'n gofyn am wrthwynebiad gwisgo uchel.
4. Sefydlogrwydd cemegol: Mae gan carbid Tantalum sefydlogrwydd uchel i amrywiaeth o sylweddau cemegol, gan wneud y plât cynnal sylfaen wedi'i orchuddio yn perfformio'n dda mewn rhai amgylcheddau cyrydol.
gyda a heb TaC
Ar ôl defnyddio TaC (dde)
Ar ben hynny, Semicera ynCynhyrchion wedi'u gorchuddio â TaCarddangos bywyd gwasanaeth hirach a mwy o wrthwynebiad tymheredd uchel o'i gymharu âhaenau SiC.Mae mesuriadau labordy wedi dangos bod einHaenau TaCyn gallu perfformio'n gyson ar dymheredd hyd at 2300 gradd Celsius am gyfnodau estynedig. Isod mae rhai enghreifftiau o'n samplau:
