Taflen graffit wedi'i gorchuddio â charbid Tantalumyn ddeunydd graffit gyda haen denau ocarbid tantalwmar wyneb y swbstrad. Mae'r haen denau o carbid tantalwm fel arfer yn cael ei ffurfio ar wyneb y swbstrad graffit gan dechnegau megis dyddodiad anwedd corfforol (PVD) neu ddyddodiad anwedd cemegol (CVD). Mae gan y cotio hwn briodweddau rhagorol megis caledwch uchel, ymwrthedd gwisgo rhagorol, ymwrthedd cyrydiad a sefydlogrwydd tymheredd uchel.
Mae Semicera yn darparu haenau carbid tantalwm (TaC) arbenigol ar gyfer gwahanol gydrannau a chludwyr.Mae proses cotio blaenllaw Semicera yn galluogi haenau carbid tantalwm (TaC) i gyflawni purdeb uchel, sefydlogrwydd tymheredd uchel a goddefgarwch cemegol uchel, gan wella ansawdd cynnyrch crisialau SIC / GAN a haenau EPI (Susceptor TaC wedi'i orchuddio â graffit), ac ymestyn oes cydrannau adweithyddion allweddol. Y defnydd o cotio tantalwm carbide TaC yw datrys y broblem ymyl a gwella ansawdd twf grisial, ac mae Semicera wedi torri tir newydd i ddatrys y dechnoleg cotio tantalwm carbide (CVD), gan gyrraedd y lefel uwch ryngwladol.
Ar ôl blynyddoedd o ddatblygiad, mae Semicera wedi goresgyn technolegCVD TaCgydag ymdrechion ar y cyd yr adran Ymchwil a Datblygu. Mae diffygion yn hawdd i ddigwydd ym mhroses twf wafferi SiC, ond ar ôl eu defnyddioTaC, mae'r gwahaniaeth yn arwyddocaol. Isod mae cymhariaeth o wafferi gyda a heb TaC, yn ogystal â rhannau Simicera ar gyfer twf grisial sengl.
Mae prif fanteision taflen graffit wedi'i gorchuddio â charbid tantalwm yn cynnwys:
1. Gwrthiant tymheredd uchel: Mae gan carbid Tantalum bwynt toddi uchel a sefydlogrwydd tymheredd uchel rhagorol, gan wneud y daflen graffit gorchuddio yn addas i'w ddefnyddio mewn amgylcheddau tymheredd uchel.
2. Gwrthiant cyrydiad: Gall cotio carbid Tantalum wrthsefyll erydiad llawer o sylweddau cyrydol cemegol ac ymestyn bywyd gwasanaeth y deunydd.
3. Caledwch uchel: Mae caledwch uchel yr haen denau carbide tantalwm yn darparu ymwrthedd gwisgo da ac mae'n addas ar gyfer ceisiadau sydd angen ymwrthedd gwisgo uchel.
4. Sefydlogrwydd cemegol: Mae gan cotio carbid Tantalum sefydlogrwydd rhagorol i gyrydiad cemegol ac mae'n addas i'w ddefnyddio mewn rhai cyfryngau cyrydol.
gyda a heb TaC
Ar ôl defnyddio TaC (dde)
Ar ben hynny, Semicera ynCynhyrchion wedi'u gorchuddio â TaCarddangos bywyd gwasanaeth hirach a mwy o wrthwynebiad tymheredd uchel o'i gymharu âhaenau SiC.Mae mesuriadau labordy wedi dangos bod einHaenau TaCyn gallu perfformio'n gyson ar dymheredd hyd at 2300 gradd Celsius am gyfnodau estynedig. Isod mae rhai enghreifftiau o'n samplau:
