cotio TaCyn cotio deunydd pwysig, sydd fel arfer yn cael ei baratoi ar sylfaen graffit gan dechnoleg dyddodiad anwedd cemegol organig metel (MOCVD). Mae gan y cotio hwn briodweddau rhagorol, megis caledwch uchel, ymwrthedd gwisgo rhagorol, ymwrthedd tymheredd uchel a sefydlogrwydd cemegol, ac mae'n addas ar gyfer amrywiol gymwysiadau peirianneg galw uchel.
Mae technoleg MOCVD yn dechnoleg twf ffilm tenau a ddefnyddir yn gyffredin sy'n dyddodi'r ffilm gyfansawdd a ddymunir ar wyneb y swbstrad trwy adweithio rhagflaenwyr organig metel â nwyon adweithiol ar dymheredd uchel. Wrth baratoicotio TaC, gan ddewis rhagflaenwyr organig metel priodol a ffynonellau carbon, rheoli amodau adwaith a pharamedrau dyddodiad, gellir adneuo ffilm TaC unffurf a thrwchus ar sylfaen graffit.
Mae Semicera yn darparu haenau carbid tantalwm (TaC) arbenigol ar gyfer gwahanol gydrannau a chludwyr.Mae proses cotio blaenllaw Semicera yn galluogi haenau carbid tantalwm (TaC) i gyflawni purdeb uchel, sefydlogrwydd tymheredd uchel a goddefgarwch cemegol uchel, gan wella ansawdd cynnyrch crisialau SIC / GAN a haenau EPI (Susceptor TaC wedi'i orchuddio â graffit), ac ymestyn oes cydrannau adweithyddion allweddol. Y defnydd o cotio tantalwm carbide TaC yw datrys y broblem ymyl a gwella ansawdd twf grisial, ac mae Semicera wedi torri tir newydd i ddatrys y dechnoleg cotio tantalwm carbide (CVD), gan gyrraedd y lefel uwch ryngwladol.
Ar ôl blynyddoedd o ddatblygiad, mae Semicera wedi goresgyn technolegCVD TaCgydag ymdrechion ar y cyd yr adran Ymchwil a Datblygu. Mae diffygion yn hawdd i ddigwydd ym mhroses twf wafferi SiC, ond ar ôl eu defnyddioTaC, mae'r gwahaniaeth yn arwyddocaol. Isod mae cymhariaeth o wafferi gyda a heb TaC, yn ogystal â rhannau Simicera ar gyfer twf grisial sengl.
gyda a heb TaC
Ar ôl defnyddio TaC (dde)
Ar ben hynny, Semicera ynCynhyrchion wedi'u gorchuddio â TaCarddangos bywyd gwasanaeth hirach a mwy o wrthwynebiad tymheredd uchel o'i gymharu âhaenau SiC.Mae mesuriadau labordy wedi dangos bod einHaenau TaCyn gallu perfformio'n gyson ar dymheredd hyd at 2300 gradd Celsius am gyfnodau estynedig. Isod mae rhai enghreifftiau o'n samplau:
