Modrwyau canllaw graffit wedi'u gorchuddio â TaCcyfeirio at y dyddodiad o haen denau ocarbid tantalwmar wyneb cylch canllaw graffit i wella ei wrthwynebiad gwisgo, ymwrthedd tymheredd uchel a sefydlogrwydd cemegol. Mae'r gorchudd hwn fel arfer yn cael ei ffurfio ar wyneb cylch canllaw graffit gan dechnegau megis dyddodiad anwedd corfforol (PVD) neu ddyddodiad anwedd cemegol (CVD).
Mae Semicera yn darparu haenau carbid tantalwm (TaC) arbenigol ar gyfer gwahanol gydrannau a chludwyr.Mae proses cotio blaenllaw Semicera yn galluogi haenau carbid tantalwm (TaC) i gyflawni purdeb uchel, sefydlogrwydd tymheredd uchel a goddefgarwch cemegol uchel, gan wella ansawdd cynnyrch crisialau SIC / GAN a haenau EPI (Susceptor TaC wedi'i orchuddio â graffit), ac ymestyn oes cydrannau adweithyddion allweddol. Y defnydd o cotio tantalwm carbide TaC yw datrys y broblem ymyl a gwella ansawdd twf grisial, ac mae Semicera wedi torri tir newydd i ddatrys y dechnoleg cotio tantalwm carbide (CVD), gan gyrraedd y lefel uwch ryngwladol.
Ar ôl blynyddoedd o ddatblygiad, mae Semicera wedi goresgyn technolegCVD TaCgydag ymdrechion ar y cyd yr adran Ymchwil a Datblygu. Mae diffygion yn hawdd i ddigwydd ym mhroses twf wafferi SiC, ond ar ôl eu defnyddioTaC, mae'r gwahaniaeth yn arwyddocaol. Isod mae cymhariaeth o wafferi gyda a heb TaC, yn ogystal â rhannau Simicera ar gyfer twf grisial sengl.
Mae prif nodweddion cylchoedd canllaw graffit wedi'u gorchuddio â TaC yn cynnwys:
1. Gwrthiant tymheredd uchel: Mae gan cotio TaC sefydlogrwydd tymheredd uchel rhagorol a gall gynnal sefydlogrwydd mewn amgylcheddau tymheredd uchel.
2. Gwrthwynebiad gwisgo: Mae caledwch uchel yr haen denau carbide tantalwm yn rhoi ymwrthedd gwisgo da i'r cylch canllaw ac yn ymestyn ei fywyd gwasanaeth.
3. Sefydlogrwydd cemegol: Mae gan cotio TaC sefydlogrwydd uchel yn erbyn cyrydiad cemegol, gan ei gwneud yn addas ar gyfer ceisiadau mewn rhai cyfryngau cyrydol.
4. Lleihau ffrithiant: Gall cotio TaC leihau'r ffrithiant rhwng y cylch canllaw graffit a chydrannau eraill yn effeithiol a gwella effeithlonrwydd morloi mecanyddol.
gyda a heb TaC
Ar ôl defnyddio TaC (dde)
Ar ben hynny, Semicera ynCynhyrchion wedi'u gorchuddio â TaCarddangos bywyd gwasanaeth hirach a mwy o wrthwynebiad tymheredd uchel o'i gymharu âhaenau SiC.Mae mesuriadau labordy wedi dangos bod einHaenau TaCyn gallu perfformio'n gyson ar dymheredd hyd at 2300 gradd Celsius am gyfnodau estynedig. Isod mae rhai enghreifftiau o'n samplau:
