Cludwyr wafferi epitaxial wedi'u gorchuddio â TaCyn cael eu defnyddio fel arfer wrth baratoi dyfeisiau optoelectroneg perfformiad uchel, dyfeisiau pŵer, synwyryddion a meysydd eraill. hwncludwr waffer epitaxialyn cyfeirio at y dyddodiad oTaCffilm denau ar y swbstrad yn ystod y broses twf grisial i ffurfio wafer gyda strwythur a pherfformiad penodol ar gyfer paratoi dyfais dilynol.
Defnyddir technoleg dyddodiad anwedd cemegol (CVD) fel arfer i baratoiCludwyr wafferi epitaxial wedi'u gorchuddio â TaC. Trwy adweithio rhagflaenwyr organig metel a nwyon ffynhonnell carbon ar dymheredd uchel, gellir dyddodi ffilm TaC ar wyneb y swbstrad grisial. Gall y ffilm hon fod â phriodweddau trydanol, optegol a mecanyddol rhagorol ac mae'n addas ar gyfer paratoi gwahanol ddyfeisiau perfformiad uchel.
Mae Semicera yn darparu haenau carbid tantalwm (TaC) arbenigol ar gyfer gwahanol gydrannau a chludwyr.Mae proses cotio blaenllaw Semicera yn galluogi haenau carbid tantalwm (TaC) i gyflawni purdeb uchel, sefydlogrwydd tymheredd uchel a goddefgarwch cemegol uchel, gan wella ansawdd cynnyrch crisialau SIC / GAN a haenau EPI (Susceptor TaC wedi'i orchuddio â graffit), ac ymestyn oes cydrannau adweithyddion allweddol. Y defnydd o cotio tantalwm carbide TaC yw datrys y broblem ymyl a gwella ansawdd twf grisial, ac mae Semicera wedi torri tir newydd i ddatrys y dechnoleg cotio tantalwm carbide (CVD), gan gyrraedd y lefel uwch ryngwladol.
Ar ôl blynyddoedd o ddatblygiad, mae Semicera wedi goresgyn technolegCVD TaCgydag ymdrechion ar y cyd yr adran Ymchwil a Datblygu. Mae diffygion yn hawdd i ddigwydd ym mhroses twf wafferi SiC, ond ar ôl eu defnyddioTaC, mae'r gwahaniaeth yn arwyddocaol. Isod mae cymhariaeth o wafferi gyda a heb TaC, yn ogystal â rhannau Simicera ar gyfer twf grisial sengl.
gyda a heb TaC
Ar ôl defnyddio TaC (dde)
Ar ben hynny, Semicera ynCynhyrchion wedi'u gorchuddio â TaCarddangos bywyd gwasanaeth hirach a mwy o wrthwynebiad tymheredd uchel o'i gymharu âhaenau SiC.Mae mesuriadau labordy wedi dangos bod einHaenau TaCyn gallu perfformio'n gyson ar dymheredd hyd at 2300 gradd Celsius am gyfnodau estynedig. Isod mae rhai enghreifftiau o'n samplau:
