Mae Ffilm Silicon gan Semicera yn ddeunydd peirianyddol manwl o ansawdd uchel sydd wedi'i gynllunio i fodloni gofynion llym y diwydiant lled-ddargludyddion. Wedi'i gynhyrchu o silicon pur, mae'r datrysiad ffilm tenau hwn yn cynnig unffurfiaeth ardderchog, purdeb uchel, a phriodweddau trydanol a thermol eithriadol. Mae'n ddelfrydol i'w ddefnyddio mewn amrywiol gymwysiadau lled-ddargludyddion, gan gynnwys cynhyrchu Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, ac Epi-Wafer. Mae Ffilm Silicon Semicera yn sicrhau perfformiad dibynadwy a chyson, gan ei gwneud yn ddeunydd hanfodol ar gyfer microelectroneg uwch.
Ansawdd a Pherfformiad Gwell ar gyfer Gweithgynhyrchu Lled-ddargludyddion
Mae Ffilm Silicon Semicera yn adnabyddus am ei gryfder mecanyddol rhagorol, ei sefydlogrwydd thermol uchel, a'i gyfraddau diffygion isel, ac mae pob un ohonynt yn hanfodol wrth wneud lled-ddargludyddion perfformiad uchel. P'un a gaiff ei ddefnyddio wrth gynhyrchu dyfeisiau Gallium Oxide (Ga2O3), AlN Wafer, neu Epi-Wafers, mae'r ffilm yn darparu sylfaen gref ar gyfer dyddodiad ffilm denau a thwf epitaxial. Mae ei gydnawsedd â swbstradau lled-ddargludyddion eraill fel SiC Substrate a SOI Wafferi yn sicrhau integreiddio di-dor i brosesau gweithgynhyrchu presennol, gan helpu i gynnal cynnyrch uchel ac ansawdd cynnyrch cyson.
Cymwysiadau yn y Diwydiant Lled-ddargludyddion
Yn y diwydiant lled-ddargludyddion, defnyddir Ffilm Silicon Semicera mewn ystod eang o gymwysiadau, o gynhyrchu Si Wafer a SOI Wafer i ddefnyddiau mwy arbenigol fel SiN Substrate a chreu Epi-Wafer. Mae purdeb a manwl gywirdeb uchel y ffilm hon yn ei gwneud hi'n hanfodol wrth gynhyrchu cydrannau uwch a ddefnyddir ym mhopeth o ficrobroseswyr a chylchedau integredig i ddyfeisiau optoelectroneg.
Mae Ffilm Silicon yn chwarae rhan hanfodol mewn prosesau lled-ddargludyddion megis twf epitaxial, bondio wafferi, a dyddodiad ffilm denau. Mae ei briodweddau dibynadwy yn arbennig o werthfawr ar gyfer diwydiannau sy'n gofyn am amgylcheddau rheoledig iawn, megis ystafelloedd glân mewn ffabrigau lled-ddargludyddion. Yn ogystal, gellir integreiddio'r Ffilm Silicon i systemau casét ar gyfer trin afrlladen yn effeithlon a chludo yn ystod y cynhyrchiad.
Dibynadwyedd a Chysondeb Hirdymor
Un o fanteision allweddol defnyddio Ffilm Silicon Semicera yw ei ddibynadwyedd hirdymor. Gyda'i gwydnwch rhagorol a'i hansawdd cyson, mae'r ffilm hon yn darparu datrysiad dibynadwy ar gyfer amgylcheddau cynhyrchu cyfaint uchel. P'un a yw'n cael ei ddefnyddio mewn dyfeisiau lled-ddargludyddion manwl uchel neu gymwysiadau electronig uwch, mae Ffilm Silicon Semicera yn sicrhau y gall gweithgynhyrchwyr gyflawni perfformiad uchel a dibynadwyedd ar draws ystod eang o gynhyrchion.
Pam Dewis Ffilm Silicon Semicera?
Mae Ffilm Silicon o Semicera yn ddeunydd hanfodol ar gyfer cymwysiadau blaengar yn y diwydiant lled-ddargludyddion. Mae ei briodweddau perfformiad uchel, gan gynnwys sefydlogrwydd thermol rhagorol, purdeb uchel, a chryfder mecanyddol, yn ei gwneud yn ddewis delfrydol i weithgynhyrchwyr sydd am gyrraedd y safonau uchaf mewn cynhyrchu lled-ddargludyddion. O Si Wafer a SiC Substrate i gynhyrchu dyfeisiau Gallium Oxide Ga2O3, mae'r ffilm hon yn darparu ansawdd a pherfformiad heb ei ail.
Gyda Ffilm Silicon Semicera, gallwch ymddiried mewn cynnyrch sy'n diwallu anghenion gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion modern, gan ddarparu sylfaen ddibynadwy ar gyfer y genhedlaeth nesaf o electroneg.
Eitemau | Cynhyrchu | Ymchwil | Dymi |
Paramedrau Grisial | |||
Polyteip | 4H | ||
Gwall cyfeiriadedd wyneb | <11-20 >4±0.15° | ||
Paramedrau Trydanol | |||
Dopant | n-math Nitrogen | ||
Gwrthedd | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Paramedrau Mecanyddol | |||
Diamedr | 150.0±0.2mm | ||
Trwch | 350 ±25 μm | ||
Cyfeiriadedd fflat cynradd | [1-100]±5° | ||
Hyd fflat cynradd | 47.5 ±1.5mm | ||
Fflat uwchradd | Dim | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
Bwa | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Ystof | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Garwedd blaen (Si-wyneb) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Strwythur | |||
Dwysedd microbibell | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Amhureddau metel | ≤5E10atomau/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
YDDS | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ansawdd Blaen | |||
Blaen | Si | ||
Gorffeniad wyneb | CMP Si-wyneb | ||
Gronynnau | ≤60ea/wafer (maint≥0.3μm) | NA | |
Crafiadau | ≤5ea/mm. Hyd cronnus ≤Diameter | Hyd cronnus ≤2 * Diamedr | NA |
Croen oren / pyllau / staeniau / rhigolau / craciau / halogiad | Dim | NA | |
Sglodion ymyl / indent / torri asgwrn / platiau hecs | Dim | ||
Ardaloedd polyteip | Dim | Arwynebedd cronnus ≤20% | Arwynebedd cronnus ≤30% |
Marcio laser blaen | Dim | ||
Ansawdd Cefn | |||
Gorffen yn ôl | C-wyneb CMP | ||
Crafiadau | ≤5ea/mm, Hyd cronnus ≤2* Diamedr | NA | |
Diffygion cefn (sglodion ymyl / mewnoliadau) | Dim | ||
Garwedd cefn | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Marcio laser cefn | 1 mm (o ymyl uchaf) | ||
Ymyl | |||
Ymyl | Chamfer | ||
Pecynnu | |||
Pecynnu | Epi-barod gyda phecynnu gwactod Pecynnu casét aml-waffer | ||
* Nodiadau: Mae "NA" yn golygu dim cais Gall eitemau na chrybwyllir gyfeirio at SEMI-STD. |