Swbstradau Silicon Carbid | Wafferi SiC

Disgrifiad Byr:

Mae Semicera Energy Technology Co, Ltd yn gyflenwr blaenllaw sy'n arbenigo mewn nwyddau traul waffer a lled-ddargludyddion uwch. Rydym yn ymroddedig i ddarparu cynhyrchion o ansawdd uchel, dibynadwy ac arloesol i weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, diwydiant ffotofoltäig a meysydd cysylltiedig eraill.

Mae ein llinell gynnyrch yn cynnwys cynhyrchion graffit wedi'u gorchuddio â SiC / TaC a chynhyrchion ceramig, gan gwmpasu deunyddiau amrywiol fel silicon carbid, silicon nitrid, ac alwminiwm ocsid ac ati.

Ar hyn o bryd, ni yw'r unig wneuthurwr i ddarparu cotio SiC purdeb 99.9999% a charbid silicon wedi'i ailgrisialu 99.9%. Yr hyd cotio SiC mwyaf y gallwn ei wneud 2640mm.

 

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

SiC-Waffer

Mae gan ddeunydd crisial sengl silicon carbid (SiC) lled bwlch band mawr (~ Si 3 gwaith), dargludedd thermol uchel (~ Si 3.3 gwaith neu GaAs 10 gwaith), cyfradd mudo dirlawnder electron uchel (~ Si 2.5 gwaith), trydan dadansoddiad uchel maes (~ Si 10 gwaith neu GaAs 5 gwaith) a nodweddion rhagorol eraill.

Mae gan ddyfeisiau SiC fanteision anadferadwy ym maes dyfeisiau electronig tymheredd uchel, pwysedd uchel, amledd uchel, pŵer uchel a chymwysiadau amgylcheddol eithafol megis awyrofod, milwrol, ynni niwclear, ac ati, yn gwneud iawn am ddiffygion dyfeisiau deunydd lled-ddargludyddion traddodiadol yn ymarferol. ceisiadau, ac yn raddol yn dod yn brif ffrwd lled-ddargludyddion pŵer.

Manylebau swbstrad silicon carbid 4H-SiC

Eitem项目

Manylebau参数

Polyteip
晶型

4H -SiC

6H- SiC

Diamedr
Ystyr geiriau: 晶圆直径

2 fodfedd | 3 modfedd | 4 modfedd | 6 modfedd

2 fodfedd | 3 modfedd | 4 modfedd | 6 modfedd

Trwch
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

Dargludedd
Ystyr geiriau: 导电类型

N – math / lled-inswleiddio
N型导电片/ 半绝缘片

N – math / lled-inswleiddio
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 ( Nitrogen )V ( Fanadiwm )

N2 ( Nitrogen ) V ( Fanadiwm )

Cyfeiriadedd
晶向

Ar echel <0001>
Oddi ar yr echel <0001> oddi ar 4°

Ar echel <0001>
Oddi ar yr echel <0001> oddi ar 4°

Gwrthedd
电阻率

0.015 ~ 0.03 ohm-cm
(4H-N)

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N)

Dwysedd meicrbibell (MPD)
Ystyr geiriau: 微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

Bwa / Ystof
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

Arwyneb
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

Gradd
产品等级

Gradd Cynhyrchu / Ymchwil

Gradd Cynhyrchu / Ymchwil

Dilyniant Stacio Grisial
堆积方式

ABCB

ABCAB

Paramedr dellt
晶格参数

a=3.076A , c=10.053A

a=3.073A , c=15.117A

Ee/eV (bwlch band)
禁带宽度

3.27 eV

3.02 eV

ε(Cyson Dielectric)
Ystyr geiriau: 介电常数

9.6

9.66

Mynegai Plygiant
折射率

n0 =2.719 ne =2.777

n0 =2.707 , ne =2.755

Manylebau swbstrad Silicon Carbide 6H-SiC

Eitem项目

Manylebau参数

Polyteip
晶型

6H-SiC

Diamedr
Ystyr geiriau: 晶圆直径

4 modfedd | 6 modfedd

Trwch
厚度

350μm ~ 450μm

Dargludedd
Ystyr geiriau: 导电类型

N – math / lled-inswleiddio
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2( Nitrogen )
V ( Fanadiwm )

Cyfeiriadedd
晶向

<0001> i ffwrdd 4°± 0.5°

Gwrthedd
电阻率

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(Math 6H-N)

Dwysedd meicrbibell (MPD)
Ystyr geiriau: 微管密度

≤ 10/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

Bwa / Ystof
翘曲度

≤25 μm

Arwyneb
表面处理

Si Wyneb: CMP, Epi-Ready
C Wyneb: Pwyleg optegol

Gradd
产品等级

Gradd ymchwil

Gweithle Semicera Gweithle Semicera 2 Peiriant offer Prosesu CNN, glanhau cemegol, cotio CVD Ein gwasanaeth


  • Pâr o:
  • Nesaf: