Disgrifiad
Mae Susceptors Wafer SiC Semicorex ar gyfer MOCVD (Dyddodiad Anwedd Cemegol Metel-Organig) yn cael eu peiriannu i fodloni gofynion manwl prosesau dyddodiad epitaxial. Gan ddefnyddio Silicon Carbide (SiC) o ansawdd uchel, mae'r atalyddion hyn yn cynnig gwydnwch a pherfformiad heb ei ail mewn amgylcheddau tymheredd uchel a chyrydol, gan sicrhau twf manwl gywir ac effeithlon o ddeunyddiau lled-ddargludyddion.
Nodweddion Allweddol:
1. Priodweddau Deunydd SuperiorWedi'u hadeiladu o SiC gradd uchel, mae ein dalwyr wafferi yn arddangos dargludedd thermol eithriadol a gwrthiant cemegol. Mae'r eiddo hyn yn eu galluogi i wrthsefyll amodau eithafol prosesau MOCVD, gan gynnwys tymereddau uchel a nwyon cyrydol, gan sicrhau hirhoedledd a pherfformiad dibynadwy.
2. Manwl mewn Dyddodiad EpitaxaiddMae union beirianneg ein Susceptors Wafferi SiC yn sicrhau dosbarthiad tymheredd unffurf ar draws wyneb y wafer, gan hwyluso twf haenau epitaxial cyson ac o ansawdd uchel. Mae'r manwl gywirdeb hwn yn hanfodol ar gyfer cynhyrchu lled-ddargludyddion sydd â'r priodweddau trydanol gorau posibl.
3. Gwydnwch GwellMae'r deunydd SiC cadarn yn darparu ymwrthedd rhagorol i draul a diraddio, hyd yn oed o dan amlygiad parhaus i amgylcheddau prosesau llym. Mae'r gwydnwch hwn yn lleihau amlder cyfnewid amnewidyddion, gan leihau amser segur a chostau gweithredu.
Ceisiadau:
Mae Atalyddion Wafferi SiC Semicorex ar gyfer MOCVD yn ddelfrydol ar gyfer:
• Twf epitaxial o ddeunyddiau lled-ddargludyddion
• Prosesau MOCVD tymheredd uchel
• Cynhyrchu GaN, AlN, a lled-ddargludyddion cyfansawdd eraill
• Cymwysiadau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion uwch
Prif Fanylebau Haenau CVD-SIC:
Budd-daliadau:
•Cywirdeb Uchel: Yn sicrhau twf epitaxial unffurf ac o ansawdd uchel.
•Perfformiad Hir-barhaol: Mae gwydnwch eithriadol yn lleihau amlder amnewid.
• Cost-effeithiolrwydd: Lleihau costau gweithredu trwy lai o amser segur a chynnal a chadw.
•Amlochredd: Customizable i gyd-fynd â gofynion proses MOCVD amrywiol.