Semicerayn cyflwyno'rCasét Lled-ddargludyddion, offeryn hanfodol ar gyfer trin wafferi yn ddiogel ac yn effeithlon trwy gydol y broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Wedi'i beiriannu'n fanwl iawn, mae'r casét hwn yn sicrhau bod eich wafferi'n cael eu storio a'u cludo'n ddiogel, gan gynnal eu cyfanrwydd ar bob cam.
Amddiffyn a Gwydnwch SuperiorMae'rCasét Lled-ddargludyddiono Semicera yn cael ei adeiladu i gynnig amddiffyniad mwyaf posibl i'ch wafferi. Wedi'i adeiladu o ddeunyddiau cadarn sy'n gwrthsefyll halogiad, mae'n amddiffyn eich wafferi rhag difrod a halogiad posibl, gan ei wneud yn ddewis delfrydol ar gyfer amgylcheddau ystafell lân. Mae dyluniad y casét yn lleihau'r gronynnau a gynhyrchir ac yn sicrhau nad yw wafferi'n cael eu cyffwrdd ac yn ddiogel wrth eu trin a'u cludo.
Dyluniad Gwell ar gyfer y Perfformiad Gorau posiblSemicera'sCasét Lled-ddargludyddionyn cynnwys dyluniad wedi'i beiriannu'n fanwl sy'n darparu aliniad union wafferi, gan leihau'r risg o gamlinio a difrod mecanyddol. Mae slotiau'r casét wedi'u gosod yn berffaith i ddal pob wafer yn ddiogel, gan atal unrhyw symudiad a allai arwain at grafiadau neu ddiffygion eraill.
Amlochredd a ChysondebMae'rCasét Lled-ddargludyddionyn amlbwrpas ac yn gydnaws â gwahanol feintiau wafferi, gan ei gwneud yn addas ar gyfer gwahanol gamau o saernïo lled-ddargludyddion. P'un a ydych chi'n gweithio gyda dimensiynau wafferi safonol neu arferol, mae'r casét hwn yn addasu i'ch anghenion, gan gynnig hyblygrwydd yn eich prosesau gweithgynhyrchu.
Trin ac Effeithlonrwydd SymlWedi'i gynllunio gyda'r defnyddiwr mewn golwg, mae'rCasét Lled-ddargludydd Lled-ddargludyddyn ysgafn ac yn hawdd ei drin, gan ganiatáu ar gyfer llwytho a dadlwytho cyflym ac effeithlon. Mae'r dyluniad ergonomig hwn nid yn unig yn arbed amser ond hefyd yn lleihau'r risg o gamgymeriadau dynol, gan sicrhau gweithrediadau llyfn yn eich cyfleuster.
Bodloni Safonau'r DiwydiantMae Semicera yn sicrhau bod yCasét Lled-ddargludyddionyn bodloni safonau uchaf y diwydiant ar gyfer ansawdd a dibynadwyedd. Mae pob casét yn cael ei brofi'n drylwyr i warantu ei fod yn perfformio'n gyson o dan amodau anodd gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Mae'r ymroddiad hwn i ansawdd yn sicrhau bod eich wafferi bob amser yn cael eu diogelu, gan gynnal y safonau uchel sy'n ofynnol yn y diwydiant.
Eitemau | Cynhyrchu | Ymchwil | Dymi |
Paramedrau Grisial | |||
Polyteip | 4H | ||
Gwall cyfeiriadedd wyneb | <11-20 >4±0.15° | ||
Paramedrau Trydanol | |||
Dopant | n-math Nitrogen | ||
Gwrthedd | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Paramedrau Mecanyddol | |||
Diamedr | 150.0±0.2mm | ||
Trwch | 350 ±25 μm | ||
Cyfeiriadedd fflat cynradd | [1-100]±5° | ||
Hyd fflat cynradd | 47.5 ±1.5mm | ||
Fflat uwchradd | Dim | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
Bwa | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Ystof | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Garwedd blaen (Si-wyneb) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Strwythur | |||
Dwysedd microbibell | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Amhureddau metel | ≤5E10atomau/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
YDDS | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ansawdd Blaen | |||
Blaen | Si | ||
Gorffeniad wyneb | CMP Si-wyneb | ||
Gronynnau | ≤60ea/wafer (maint≥0.3μm) | NA | |
Crafiadau | ≤5ea/mm. Hyd cronnus ≤Diameter | Hyd cronnus ≤2 * Diamedr | NA |
Croen oren / pyllau / staeniau / rhigolau / craciau / halogiad | Dim | NA | |
Sglodion ymyl / indent / torri asgwrn / platiau hecs | Dim | ||
Ardaloedd polyteip | Dim | Arwynebedd cronnus ≤20% | Arwynebedd cronnus ≤30% |
Marcio laser blaen | Dim | ||
Ansawdd Cefn | |||
Gorffen yn ôl | C-wyneb CMP | ||
Crafiadau | ≤5ea/mm, Hyd cronnus ≤2* Diamedr | NA | |
Diffygion cefn (sglodion ymyl / mewnoliadau) | Dim | ||
Garwedd cefn | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Marcio laser cefn | 1 mm (o ymyl uchaf) | ||
Ymyl | |||
Ymyl | Chamfer | ||
Pecynnu | |||
Pecynnu | Epi-barod gyda phecynnu gwactod Pecynnu casét aml-waffer | ||
* Nodiadau: Mae "NA" yn golygu dim cais Gall eitemau na chrybwyllir gyfeirio at SEMI-STD. |