CTRhCylchoedd CVD SiCyn cael eu defnyddio'n eang mewn meysydd diwydiannol a gwyddonol mewn tymheredd uchel ac amgylcheddau cyrydol. Mae'n chwarae rhan bwysig mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, optoelectroneg, peiriannau manwl a diwydiant cemegol. Mae ceisiadau penodol yn cynnwys:
1. gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion:RTP CVD cylchoedd SiCgellir ei ddefnyddio ar gyfer gwresogi ac oeri offer lled-ddargludyddion, gan ddarparu rheolaeth tymheredd sefydlog a sicrhau cywirdeb a chysondeb y broses.
2. Optoelectroneg: Oherwydd ei ddargludedd thermol rhagorol ac ymwrthedd tymheredd uchel, CTRhCylchoedd CVD SiCgellir ei ddefnyddio fel deunyddiau cynnal a gwasgaru gwres ar gyfer laserau, offer cyfathrebu ffibr optig a chydrannau optegol.
3. Peiriannau manwl gywir: Gellir defnyddio modrwyau RTP CVD SiC ar gyfer offerynnau ac offer manwl mewn amgylcheddau tymheredd uchel a chyrydol, megis ffwrneisi tymheredd uchel, dyfeisiau gwactod ac adweithyddion cemegol.
4. Diwydiant cemegol: Oherwydd ei wrthwynebiad cyrydiad a sefydlogrwydd cemegol, gellir defnyddio modrwyau RTP CVD SiC mewn cynwysyddion, pibellau ac adweithyddion mewn adweithiau cemegol a phrosesau catalytig.
System Epi
System CTRh
System CVD
Perfformiad cynnyrch:
1. Cwrdd â'r broses o dan 28nm
2. Super ymwrthedd cyrydiad
3. Super perfformiad glân
4. Super caledwch
5. Dwysedd uchel
6. ymwrthedd tymheredd uchel
7. Gwisgwch ymwrthedd
Cais cynnyrch:
Mae gan ddeunyddiau silicon carbid nodweddion caledwch uchel, ymwrthedd gwisgo, ymwrthedd cyrydiad a sefydlogrwydd tymheredd uchel. Defnyddir cynhyrchion â pherfformiad cynhwysfawr rhagorol yn eang mewn prosesau ysgythru sych a TF / Trylediad.
Perfformiad cynnyrch:
1. Cwrdd â'r broses o dan 28nm
2. Super ymwrthedd cyrydiad
3. Super perfformiad glân
4. Super caledwch
5. Dwysedd uchel
6. ymwrthedd tymheredd uchel
7. Gwisgwch ymwrthedd
Datblygu prosesau cyfansawdd:
• Graffit + Gorchudd SiC
• Solide CVD SiC
• SiC+CVD sintered
• SicSintered SiC
Datblygiad math o gynnyrch lluosog:
• Modrwy
• Tabl
• Susceptor
• Pen cawod