Semicerayn falch o gynnig yCasét PFA, dewis premiwm ar gyfer trin wafferi mewn amgylcheddau lle mae ymwrthedd cemegol a gwydnwch yn hollbwysig. Wedi'i saernïo o ddeunydd Perfluoroalkoxy (PFA) purdeb uchel, mae'r casét hwn wedi'i gynllunio i wrthsefyll yr amodau mwyaf heriol mewn gwneuthuriad lled-ddargludyddion, gan sicrhau diogelwch a chywirdeb eich wafferi.
Gwrthiant Cemegol Heb ei GyfatebMae'rCasét PFAwedi'i beiriannu i ddarparu ymwrthedd uwch i ystod eang o gemegau, gan ei wneud yn ddewis perffaith ar gyfer prosesau sy'n cynnwys asidau ymosodol, toddyddion, a chemegau llym eraill. Mae'r ymwrthedd cemegol cadarn hwn yn sicrhau bod y casét yn parhau'n gyfan ac yn weithredol hyd yn oed yn yr amgylcheddau mwyaf cyrydol, a thrwy hynny ymestyn ei oes a lleihau'r angen am ailosodiadau aml.
Adeiladu Uchel-PurdebSemicera'sCasét PFAyn cael ei gynhyrchu o ddeunydd PFA pur iawn, sy'n hanfodol i atal halogiad wrth brosesu wafferi. Mae'r adeiladwaith purdeb uchel hwn yn lleihau'r risg o gynhyrchu gronynnau a thrwytholchi cemegol, gan sicrhau bod eich wafferi'n cael eu hamddiffyn rhag amhureddau a allai beryglu eu hansawdd.
Gwydnwch a Pherfformiad GwellWedi'i gynllunio ar gyfer gwydnwch, mae'rCasét PFAyn cynnal ei gyfanrwydd strwythurol o dan dymheredd eithafol ac amodau prosesu trylwyr. P'un a yw'n agored i dymheredd uchel neu'n cael ei drin dro ar ôl tro, mae'r casét hwn yn cadw ei siâp a'i berfformiad, gan gynnig dibynadwyedd hirdymor mewn amgylcheddau gweithgynhyrchu heriol.
Peirianneg Fanwl ar gyfer Trin yn DdiogelMae'rCasét PFA Semicerayn cynnwys peirianneg fanwl gywir sy'n sicrhau trin afrlladen yn ddiogel a sefydlog. Mae pob slot wedi'i ddylunio'n ofalus i ddal wafferi yn ddiogel yn eu lle, gan atal unrhyw symudiad neu symud a allai arwain at ddifrod. Mae'r peirianneg fanwl hon yn cefnogi lleoliad wafferi cyson a chywir, gan gyfrannu at effeithlonrwydd prosesau cyffredinol.
Cymhwysiad Amlbwrpas Ar Draws ProsesauDiolch i'w briodweddau materol uwchraddol, mae'rCasét PFAyn ddigon amlbwrpas i'w ddefnyddio ar draws gwahanol gamau o wneuthuriad lled-ddargludyddion. Mae'n arbennig o addas ar gyfer ysgythru gwlyb, dyddodiad anwedd cemegol (CVD), a phrosesau eraill sy'n cynnwys amgylcheddau cemegol llym. Mae ei allu i addasu yn ei wneud yn arf hanfodol wrth gynnal cywirdeb proses ac ansawdd wafferi.
Ymrwymiad i Ansawdd ac ArloesiYn Semicera, rydym wedi ymrwymo i ddarparu cynhyrchion sy'n bodloni safonau uchaf y diwydiant. Mae'rCasét PFAyn enghraifft o'r ymrwymiad hwn, gan gynnig ateb dibynadwy sy'n integreiddio'n ddi-dor i'ch prosesau gweithgynhyrchu. Mae pob casét yn destun rheolaeth ansawdd llym i sicrhau ei fod yn bodloni ein meini prawf perfformiad trwyadl, gan gyflawni'r rhagoriaeth rydych chi'n ei ddisgwyl gan Semicera.
Eitemau | Cynhyrchu | Ymchwil | Dymi |
Paramedrau Grisial | |||
Polyteip | 4H | ||
Gwall cyfeiriadedd wyneb | <11-20 >4±0.15° | ||
Paramedrau Trydanol | |||
Dopant | n-math Nitrogen | ||
Gwrthedd | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Paramedrau Mecanyddol | |||
Diamedr | 150.0±0.2mm | ||
Trwch | 350 ±25 μm | ||
Cyfeiriadedd fflat cynradd | [1-100]±5° | ||
Hyd fflat cynradd | 47.5 ±1.5mm | ||
Fflat uwchradd | Dim | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
Bwa | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Ystof | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Garwedd blaen (Si-wyneb) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Strwythur | |||
Dwysedd microbibell | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Amhureddau metel | ≤5E10atomau/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
YDDS | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Ansawdd Blaen | |||
Blaen | Si | ||
Gorffeniad wyneb | CMP Si-wyneb | ||
Gronynnau | ≤60ea/wafer (maint≥0.3μm) | NA | |
Crafiadau | ≤5ea/mm. Hyd cronnus ≤Diameter | Hyd cronnus ≤2 * Diamedr | NA |
Croen oren / pyllau / staeniau / rhigolau / craciau / halogiad | Dim | NA | |
Sglodion ymyl / indent / torri asgwrn / platiau hecs | Dim | ||
Ardaloedd polyteip | Dim | Arwynebedd cronnus ≤20% | Arwynebedd cronnus ≤30% |
Marcio laser blaen | Dim | ||
Ansawdd Cefn | |||
Gorffen yn ôl | C-wyneb CMP | ||
Crafiadau | ≤5ea/mm, Hyd cronnus ≤2* Diamedr | NA | |
Diffygion cefn (sglodion ymyl / mewnoliadau) | Dim | ||
Garwedd cefn | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Marcio laser cefn | 1 mm (o ymyl uchaf) | ||
Ymyl | |||
Ymyl | Chamfer | ||
Pecynnu | |||
Pecynnu | Epi-barod gyda phecynnu gwactod Pecynnu casét aml-waffer | ||
* Nodiadau: Mae "NA" yn golygu dim cais Gall eitemau na chrybwyllir gyfeirio at SEMI-STD. |