Casét PFA

Disgrifiad Byr:

Casét PFA- Profwch ymwrthedd a gwydnwch cemegol heb ei ail gyda Chasét PFA Semicera, yr ateb delfrydol ar gyfer trin afrlladen yn ddiogel ac yn effeithlon mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion.


Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Semicerayn falch o gynnig yCasét PFA, dewis premiwm ar gyfer trin wafferi mewn amgylcheddau lle mae ymwrthedd cemegol a gwydnwch yn hollbwysig. Wedi'i saernïo o ddeunydd Perfluoroalkoxy (PFA) purdeb uchel, mae'r casét hwn wedi'i gynllunio i wrthsefyll yr amodau mwyaf heriol mewn gwneuthuriad lled-ddargludyddion, gan sicrhau diogelwch a chywirdeb eich wafferi.

Gwrthiant Cemegol Heb ei GyfatebMae'rCasét PFAwedi'i beiriannu i ddarparu ymwrthedd uwch i ystod eang o gemegau, gan ei wneud yn ddewis perffaith ar gyfer prosesau sy'n cynnwys asidau ymosodol, toddyddion, a chemegau llym eraill. Mae'r ymwrthedd cemegol cadarn hwn yn sicrhau bod y casét yn parhau'n gyfan ac yn weithredol hyd yn oed yn yr amgylcheddau mwyaf cyrydol, a thrwy hynny ymestyn ei oes a lleihau'r angen am ailosodiadau aml.

Adeiladu Uchel-PurdebSemicera'sCasét PFAyn cael ei gynhyrchu o ddeunydd PFA pur iawn, sy'n hanfodol i atal halogiad wrth brosesu wafferi. Mae'r adeiladwaith purdeb uchel hwn yn lleihau'r risg o gynhyrchu gronynnau a thrwytholchi cemegol, gan sicrhau bod eich wafferi'n cael eu hamddiffyn rhag amhureddau a allai beryglu eu hansawdd.

Gwydnwch a Pherfformiad GwellWedi'i gynllunio ar gyfer gwydnwch, mae'rCasét PFAyn cynnal ei gyfanrwydd strwythurol o dan dymheredd eithafol ac amodau prosesu trylwyr. P'un a yw'n agored i dymheredd uchel neu'n cael ei drin dro ar ôl tro, mae'r casét hwn yn cadw ei siâp a'i berfformiad, gan gynnig dibynadwyedd hirdymor mewn amgylcheddau gweithgynhyrchu heriol.

Peirianneg Manwl ar gyfer Trin yn DdiogelMae'rCasét PFA Semicerayn cynnwys peirianneg fanwl gywir sy'n sicrhau trin afrlladen yn ddiogel a sefydlog. Mae pob slot wedi'i ddylunio'n ofalus i ddal wafferi yn ddiogel yn eu lle, gan atal unrhyw symudiad neu symud a allai arwain at ddifrod. Mae'r peirianneg fanwl hon yn cefnogi lleoliad wafferi cyson a chywir, gan gyfrannu at effeithlonrwydd prosesau cyffredinol.

Cymhwysiad Amlbwrpas Ar Draws ProsesauDiolch i'w briodweddau materol uwchraddol, mae'rCasét PFAyn ddigon amlbwrpas i'w ddefnyddio ar draws gwahanol gamau o wneuthuriad lled-ddargludyddion. Mae'n arbennig o addas ar gyfer ysgythru gwlyb, dyddodiad anwedd cemegol (CVD), a phrosesau eraill sy'n cynnwys amgylcheddau cemegol llym. Mae ei allu i addasu yn ei wneud yn arf hanfodol wrth gynnal cywirdeb proses ac ansawdd wafferi.

Ymrwymiad i Ansawdd ac ArloesiYn Semicera, rydym wedi ymrwymo i ddarparu cynhyrchion sy'n bodloni safonau uchaf y diwydiant. Mae'rCasét PFAyn enghraifft o'r ymrwymiad hwn, gan gynnig ateb dibynadwy sy'n integreiddio'n ddi-dor i'ch prosesau gweithgynhyrchu. Mae pob casét yn destun rheolaeth ansawdd llym i sicrhau ei fod yn bodloni ein meini prawf perfformiad trwyadl, gan gyflawni'r rhagoriaeth rydych chi'n ei ddisgwyl gan Semicera.

Eitemau

Cynhyrchu

Ymchwil

Dymi

Paramedrau Grisial

Polyteip

4H

Gwall cyfeiriadedd wyneb

<11-20 >4±0.15°

Paramedrau Trydanol

Dopant

n-math Nitrogen

Gwrthedd

0.015-0.025ohm·cm

Paramedrau Mecanyddol

Diamedr

150.0±0.2mm

Trwch

350 ±25 μm

Cyfeiriadedd fflat cynradd

[1-100]±5°

Hyd fflat cynradd

47.5 ±1.5mm

Fflat uwchradd

Dim

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Bwa

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Ystof

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Garwedd blaen (Si-wyneb) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Strwythur

Dwysedd microbibell

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Amhureddau metel

≤5E10atomau/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

YDDS

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ansawdd Blaen

Blaen

Si

Gorffeniad wyneb

CMP Si-wyneb

Gronynnau

≤60ea/wafer (maint≥0.3μm)

NA

Crafiadau

≤5ea/mm. Hyd cronnus ≤Diameter

Hyd cronnus ≤2 * Diamedr

NA

Croen oren / pyllau / staeniau / rhigolau / craciau / halogiad

Dim

NA

Sglodion ymyl / indent / torri asgwrn / platiau hecs

Dim

Ardaloedd polyteip

Dim

Arwynebedd cronnus ≤20%

Arwynebedd cronnus ≤30%

Marcio laser blaen

Dim

Ansawdd Cefn

Gorffen yn ôl

C-wyneb CMP

Crafiadau

≤5ea/mm, Hyd cronnus ≤2* Diamedr

NA

Diffygion cefn (sglodion ymyl / mewnoliadau)

Dim

Garwedd cefn

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcio laser cefn

1 mm (o ymyl uchaf)

Ymyl

Ymyl

Chamfer

Pecynnu

Pecynnu

Epi-barod gyda phecynnu gwactod

Pecynnu casét aml-waffer

* Nodiadau: Mae "NA" yn golygu dim cais Gall eitemau na chrybwyllir gyfeirio at SEMI-STD.

tech_1_2_maint
wafferi SiC

  • Pâr o:
  • Nesaf: