Mae rhannau solet CARBID SILICON CVD yn cael eu cydnabod fel y prif ddewis ar gyfer modrwyau a gwaelodion RTP/EPI a rhannau ceudod plasm aetch sy'n gweithredu ar dymheredd gweithredu gofynnol system uchel (> 1500 ℃), mae'r gofynion purdeb yn arbennig o uchel (> 99.9995%) a mae'r perfformiad yn arbennig o dda pan fo'r ymwrthedd i gemegau yn arbennig o uchel. Nid yw'r deunyddiau hyn yn cynnwys cyfnodau eilaidd ar ymyl y grawn, felly mae eu cydrannau'n cynhyrchu llai o ronynnau na deunyddiau eraill. Yn ogystal, gellir glanhau'r cydrannau hyn trwy ddefnyddio HF / HCl poeth heb fawr o ddiraddio, gan arwain at lai o ronynnau a bywyd gwasanaeth hirach.
