Susceptor Cludwr Wafferi Graffit Gorchuddio SiC Purdeb Uchel

Uchel Purdeb SiC Haenedig Graffit Wafer Cludwr Susceptor Sylw Delwedd

Disgrifiad Byr:

Mae Susceptor Cludwyr SiC Purdeb Uchel Semicera wedi'i gynllunio ar gyfer prosesau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion a LED uwch, gan gynnig sefydlogrwydd thermol eithriadol a pherfformiad uwch ar dymheredd uchel. Wedi'i wneud o garbid silicon purdeb uchel, mae'r atalydd hwn yn sicrhau dosbarthiad gwres effeithlon, gwell unffurfiaeth prosesau, a mwy o wydnwch. Yn ddelfrydol ar gyfer MOCVD, CVD, a chymwysiadau tymheredd uchel eraill, mae susceptor cludwr SiC Semicera yn darparu perfformiad dibynadwy a hirhoedlog, gan helpu i wneud y gorau o'ch effeithlonrwydd cynhyrchu ac ansawdd eich cynnyrch.

Anfonwch e-bost atom

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Disgrifiad

Mae gan serameg carbid silicon briodweddau mecanyddol rhagorol ar dymheredd ystafell, megis cryfder uchel, caledwch uchel, modwlws elastig uchel, ac ati, mae ganddo hefyd sefydlogrwydd tymheredd uchel rhagorol fel dargludedd thermol uchel, cyfernod ehangu thermol isel, ac anystwythder penodol da ac optegol perfformiad prosesu.
Maent yn arbennig o addas ar gyfer cynhyrchu rhannau cerameg manwl gywir ar gyfer offer cylched integredig fel peiriannau lithograffeg, a ddefnyddir yn bennaf i gynhyrchu'r cludwr / susceptor SiC, cwch waffer SiC, disg sugno, plât oeri dŵr, adlewyrchydd mesur manwl gywir, gratio a rhannau strwythurol ceramig eraill.

cludwr2

cludwr3

cludwr4

Manteision

Gwrthiant tymheredd uchel: defnydd arferol ar 1800 ℃
Dargludedd thermol uchel: sy'n cyfateb i ddeunydd graffit
Caledwch uchel: caledwch yn ail yn unig i diemwnt, boron nitrid
Gwrthiant cyrydiad: nid oes gan asid cryf ac alcali unrhyw gyrydiad iddo, mae'r ymwrthedd cyrydiad yn well na charbid twngsten ac alwmina
Pwysau ysgafn: dwysedd isel, yn agos at alwminiwm
Dim dadffurfiad: cyfernod isel o ehangu thermol
Gwrthiant sioc thermol: gall wrthsefyll newidiadau tymheredd sydyn, gwrthsefyll sioc thermol, ac mae ganddo berfformiad sefydlog
Defnyddir cludwr carbid silicon fel cludwr ysgythru sic, susceptor ysgythru ICP, yn eang mewn CVD lled-ddargludyddion, sputtering gwactod ac ati Gallwn ddarparu cludwyr wafferi wedi'u teilwra o silicon a deunyddiau carbid silicon i gwsmeriaid i gwrdd â gwahanol gymwysiadau.

Manteision

Eiddo	Gwerth	Dull
Dwysedd	3.21 g/cc	Sinc-float a dimensiwn
Gwres penodol	0.66 J/g °K	Fflach laser pwls
Cryfder hyblyg	450 MPa560 MPa	Tro 4 pwynt, tro pwynt RT4, 1300 °
Gwydnwch torri asgwrn	2.94 MPa m1/2	Microindentation
Caledwch	2800	Vicker's, llwyth 500g
Modwlws Elastig ModwlwsYoung	450 GPa430 GPa	Tro 4 pt, tro RT4 pt, 1300 ° C
Maint grawn	2 – 10 µm	SEM

Proffil Cwmni

Mae WeiTai Energy Technology Co, Ltd yn gyflenwr blaenllaw o serameg lled-ddargludyddion uwch a'r unig wneuthurwr yn Tsieina sy'n gallu darparu serameg carbid silicon purdeb uchel ar yr un pryd (yn enwedig y SiC Recrystallized) a cotio CVD SiC. Yn ogystal, mae ein cwmni hefyd wedi ymrwymo i feysydd ceramig megis alwmina, nitrid alwminiwm, zirconia, a nitrid silicon, ac ati.

Ein prif gynnyrch gan gynnwys: disg ysgythru carbid silicon, tynnu cwch carbid silicon, cwch wafferi carbid silicon (Ffotofoltäig a Lled-ddargludydd), tiwb ffwrnais carbid silicon, padl cantilifer carbid silicon, chucks carbid silicon, trawst carbid silicon, yn ogystal â'r cotio CVD SiC a TaC cotio. Y cynhyrchion a ddefnyddir yn bennaf yn y diwydiannau lled-ddargludyddion a ffotofoltäig, megis offer ar gyfer twf grisial, epitacsi, ysgythru, pecynnu, cotio a ffwrneisi tryledu, ac ati.
tua (2)