Mae Wafer Parth Arnofio yn cael ei dyfu gan ddull toddi Parth arnofio (dull toddi Parth Arnofio), a elwir hefyd yn wafer toddi parth, wafer FZ, yn wafer silicon purdeb uchel, yn gallu disodli'r broses syth-dynnu grisial sengl CZ o wafferi silicon.O'i gymharu â wafferi a weithgynhyrchir gan ddefnyddio'r dull CZ, mae gan wafferi parth lawer o fanteision, megis dim crucible, llwyth cynhyrchu isel, a dim cyfyngiad pwynt toddi, gan eu gwneud yn ddelfrydol ar gyfer cymwysiadau megis modiwlau solar, dyfeisiau RF, a dyfeisiau pŵer manwl gywir. Mae crynodiad amhureddau ocsigen a charbon mewn wafferi FZ yn isel, ac mae nitrogen yn cael ei ychwanegu'n arbennig i wella ei gryfder mecanyddol.
Eitem | Dadl | Ymholiad sampl |
Nifer: |
| 100 pcs |
Dull Twf: | Parth Arnofio | FZ |
Diamedr: | 50/75/100/150/200/300mm | 100mm |
Math / Dopant: | P-Math / N-Math / Cynhenid | N-Math |
Cyfeiriadedd: | <1-0-0>/<1-1-0>/<1-1-1>或其它 | <100> |
Gwrthiant: | 100 ~ 30,000 ohm-cm | 3000 ohm-cm |
Trwch: | 275 um~775 um | 500wm |
Gorffen: | SSP/DSP | DSP |
Fflatiau: | Rhic/Dau Fflat Safonol SEMI | Rhic |
BOW/WARP: | <10 µm | <40um |
TTV: | <5 µm | <20um |
Gradd: | Prif / Prawf / Dymi | Prif |