silicon carbid effeithydd ceramig ar gyfer trosglwyddo wafferi mewn amrywiol brosesau lled-ddargludyddion

Nodweddion a manteision

Dimensiynau 1.Precise a sefydlogrwydd thermol

Anystwythder penodol 2.High ac unffurfiaeth thermol ardderchog, nid yw defnydd hirdymor yn hawdd i blygu anffurfiad;

3. Mae ganddo arwyneb llyfn ac ymwrthedd gwisgo da, gan drin y sglodion yn ddiogel heb halogiad gronynnau.

4.Silicon carbide resistivity yn 106-108Ω, anfagnetig, yn unol â gofynion manyleb gwrth-ESD; Gall atal cronni trydan statig ar wyneb y sglodion

Dargludedd thermol 5.Good, cyfernod ehangu isel.