Swmp Modrwy SiC CVD

Disgrifiad Byr:

Mae cylchoedd swmp CVD SiC yn defnyddio nwy ffynhonnell silicon (fel hydrid silicon) a nwy ffynhonnell carbon (fel methan) fel deunyddiau crai, gan adweithio ar dymheredd uchel i adneuo deunyddiau SiC mawr ar swbstrad neu lwydni. Mae'r broses hon yn caniatáu i SiC gael ei ddyddodi'n unffurf dros ardal fawr, gan ffurfio strwythur cylch cryf a chyson.

Anfonwch e-bost atom

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Pam mae Modrwy Ysgythriad Silicon Carbide?

CTRhCylchoedd CVD SiCyn cael eu defnyddio'n eang mewn meysydd diwydiannol a gwyddonol mewn tymheredd uchel ac amgylcheddau cyrydol. Mae'n chwarae rhan bwysig mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, optoelectroneg, peiriannau manwl a diwydiant cemegol. Mae ceisiadau penodol yn cynnwys:

1. gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion:RTP CVD cylchoedd SiCgellir ei ddefnyddio ar gyfer gwresogi ac oeri offer lled-ddargludyddion, gan ddarparu rheolaeth tymheredd sefydlog a sicrhau cywirdeb a chysondeb y broses.

2. Optoelectroneg: Oherwydd ei ddargludedd thermol rhagorol ac ymwrthedd tymheredd uchel, CTRhCylchoedd CVD SiCgellir ei ddefnyddio fel deunyddiau cynnal a gwasgaru gwres ar gyfer laserau, offer cyfathrebu ffibr optig a chydrannau optegol.

3. Peiriannau manwl gywir: Gellir defnyddio modrwyau RTP CVD SiC ar gyfer offerynnau ac offer manwl mewn amgylcheddau tymheredd uchel a chyrydol, megis ffwrneisi tymheredd uchel, dyfeisiau gwactod ac adweithyddion cemegol.

4. Diwydiant cemegol: Oherwydd ei wrthwynebiad cyrydiad a sefydlogrwydd cemegol, gellir defnyddio modrwyau RTP CVD SiC mewn cynwysyddion, pibellau ac adweithyddion mewn adweithiau cemegol a phrosesau catalytig.

System Epi

System CTRh

System CVD

Perfformiad cynnyrch:

1. Cwrdd â'r broses o dan 28nm

2. Super ymwrthedd cyrydiad

3. Super perfformiad glân

4. Super caledwch

5. Dwysedd uchel

6. ymwrthedd tymheredd uchel

7. Gwisgwch ymwrthedd

Cais cynnyrch:

Mae gan ddeunyddiau silicon carbid nodweddion caledwch uchel, ymwrthedd gwisgo, ymwrthedd cyrydiad a sefydlogrwydd tymheredd uchel. Defnyddir cynhyrchion â pherfformiad cynhwysfawr rhagorol yn eang mewn prosesau ysgythru sych a TF / Trylediad.