Mae epitacsi LED glas/gwyrdd o semicera yn cynnig atebion blaengar ar gyfer gweithgynhyrchu LED perfformiad uchel. Wedi'i gynllunio i gefnogi prosesau twf epitaxial datblygedig, mae technoleg epitaxy LED Glas/gwyrdd semicera yn gwella effeithlonrwydd a manwl gywirdeb wrth gynhyrchu LEDs glas a gwyrdd, sy'n hanfodol ar gyfer cymwysiadau optoelectroneg amrywiol. Gan ddefnyddio Si Epitaxy a SiC Epitaxy o'r radd flaenaf, mae'r datrysiad hwn yn sicrhau ansawdd a gwydnwch rhagorol.
Yn y broses weithgynhyrchu, mae Susceptor MOCVD yn chwarae rhan hanfodol, ynghyd â chydrannau fel Cludydd Ysgythru PSS, Cludydd Ysgythru ICP, a Chludiwr RTP, sy'n gwneud y gorau o'r amgylchedd twf epitaxial. Mae epitacsi LED Glas/gwyrdd Semicera wedi'i gynllunio i ddarparu cefnogaeth sefydlog ar gyfer Susceptor Epitaxial LED, Susceptor Barrel, a Monocrystalline Silicon, gan sicrhau cynhyrchu canlyniadau cyson o ansawdd uchel.
Mae'r broses epitaxy hon yn hanfodol ar gyfer creu Rhannau Ffotofoltäig ac mae'n cefnogi cymwysiadau fel GaN ar SiC Epitaxy, gan wella effeithlonrwydd lled-ddargludyddion cyffredinol. P'un ai mewn cyfluniad Susceptor Crempog neu'n cael ei ddefnyddio mewn setiau datblygedig eraill, mae datrysiadau epitaxy LED Glas/gwyrdd semicera yn cynnig perfformiad dibynadwy, gan helpu gweithgynhyrchwyr i gwrdd â'r galw cynyddol am gydrannau LED o ansawdd uchel.
Prif nodweddion:
1. Gwrthiant ocsideiddio tymheredd uchel:
mae'r ymwrthedd ocsideiddio yn dal yn dda iawn pan fo'r tymheredd mor uchel â 1600 C.
2. purdeb uchel: wedi'i wneud gan ddyddodiad anwedd cemegol o dan gyflwr clorineiddio tymheredd uchel.
3. Gwrthiant erydiad: caledwch uchel, arwyneb cryno, gronynnau mân.
4. ymwrthedd cyrydiad: adweithyddion asid, alcali, halen ac organig.
Prif Fanylebau oGorchudd CVD-SIC
| Priodweddau SiC-CVD | ||
| Strwythur grisial | FCC β cyfnod | |
| Dwysedd | g/cm ³ | 3.21 |
| Caledwch | Vickers caledwch | 2500 |
| Maint Grawn | μm | 2 ~ 10 |
| Purdeb Cemegol | % | 99.99995 |
| Cynhwysedd Gwres | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Tymheredd sublimation | ℃ | 2700 |
| Cryfder Felexural | MPa (RT 4-pwynt) | 415 |
| Modwlws Young | Gpa (tro 4pt, 1300 ℃) | 430 |
| Ehangu Thermol (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Dargludedd thermol | (W/mK) | 300 |
