Is-haen SiC math N 6 modfedd

Disgrifiad Byr:

Mae Semicera yn cynnig ystod eang o wafferi SiC 4H-8H. Am flynyddoedd lawer, rydym wedi bod yn wneuthurwr a chyflenwr cynhyrchion i'r diwydiannau lled-ddargludyddion a ffotofoltäig. Mae ein prif gynnyrch yn cynnwys: platiau etch silicon carbid, trelars cychod carbid silicon, cychod wafferi carbid silicon (PV & Lled-ddargludydd), tiwbiau ffwrnais carbid silicon, padlau cantilifer carbid silicon, chucks carbid silicon, trawstiau carbid silicon, yn ogystal â haenau SiC CVD a Haenau TaC. Yn cwmpasu'r rhan fwyaf o farchnadoedd Ewropeaidd ac America. Edrychwn ymlaen at fod yn bartner hirdymor i chi yn Tsieina.

 

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Mae gan ddeunydd crisial sengl silicon carbid (SiC) lled bwlch band mawr (~ Si 3 gwaith), dargludedd thermol uchel (~ Si 3.3 gwaith neu GaAs 10 gwaith), cyfradd mudo dirlawnder electron uchel (~ Si 2.5 gwaith), trydan dadansoddiad uchel maes (~ Si 10 gwaith neu GaAs 5 gwaith) a nodweddion rhagorol eraill.

Mae'r deunyddiau lled-ddargludyddion trydydd cenhedlaeth yn bennaf yn cynnwys SiC, GaN, diemwnt, ac ati, oherwydd bod ei lled bwlch band (Ee) yn fwy na neu'n hafal i 2.3 folt electron (eV), a elwir hefyd yn ddeunyddiau lled-ddargludyddion bwlch band eang. O'i gymharu â'r deunyddiau lled-ddargludyddion cenhedlaeth gyntaf a'r ail genhedlaeth, mae gan ddeunyddiau lled-ddargludyddion y drydedd genhedlaeth fanteision dargludedd thermol uchel, maes trydan dadelfennu uchel, cyfradd mudo electronau dirlawn uchel ac egni bondio uchel, a all fodloni gofynion newydd technoleg electronig fodern ar gyfer uchel. tymheredd, pŵer uchel, pwysedd uchel, amledd uchel ac ymwrthedd i ymbelydredd a chyflyrau llym eraill. Mae ganddo ragolygon cymhwyso pwysig ym meysydd amddiffyn cenedlaethol, hedfan, awyrofod, archwilio olew, storio optegol, ac ati, a gall leihau colled ynni gan fwy na 50% mewn llawer o ddiwydiannau strategol megis cyfathrebu band eang, ynni solar, gweithgynhyrchu ceir, goleuadau lled-ddargludyddion, a grid smart, a gallant leihau cyfaint offer o fwy na 75%, sydd o arwyddocâd carreg filltir ar gyfer datblygiad gwyddoniaeth a thechnoleg ddynol.

Gall ynni semicera ddarparu swbstrad carbid silicon Dargludol (Dargludol), Lled-inswleiddio (Lled-inswleiddio), HPSI (lled-inswleiddio Purdeb Uchel) i gwsmeriaid; Yn ogystal, gallwn ddarparu taflenni epitaxial carbid silicon homogenaidd a heterogenaidd i gwsmeriaid; Gallwn hefyd addasu'r daflen epitaxial yn unol ag anghenion penodol cwsmeriaid, ac nid oes isafswm archeb.

Eitemau

Cynhyrchu

Ymchwil

Dymi

Paramedrau Grisial

Polyteip

4H

Gwall cyfeiriadedd wyneb

<11-20 >4±0.15°

Paramedrau Trydanol

Dopant

n-math Nitrogen

Gwrthedd

0.015-0.025ohm·cm

Paramedrau Mecanyddol

Diamedr

150.0±0.2mm

Trwch

350 ±25 μm

Cyfeiriadedd fflat cynradd

[1-100]±5°

Hyd fflat cynradd

47.5 ±1.5mm

Fflat uwchradd

Dim

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Bwa

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Ystof

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Garwedd blaen (Si-wyneb) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Strwythur

Dwysedd microbibell

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Amhureddau metel

≤5E10atomau/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

YDDS

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Ansawdd Blaen

Blaen

Si

Gorffeniad wyneb

CMP Si-wyneb

Gronynnau

≤60ea/wafer (maint≥0.3μm)

NA

Crafiadau

≤5ea/mm. Hyd cronnus ≤Diameter

Hyd cronnus ≤2 * Diamedr

NA

Croen oren / pyllau / staeniau / rhigolau / craciau / halogiad

Dim

NA

Sglodion ymyl / indent / torri asgwrn / platiau hecs

Dim

Ardaloedd polyteip

Dim

Arwynebedd cronnus ≤20%

Arwynebedd cronnus ≤30%

Marcio laser blaen

Dim

Ansawdd Cefn

Gorffen yn ôl

C-wyneb CMP

Crafiadau

≤5ea/mm, Hyd cronnus ≤2* Diamedr

NA

Diffygion cefn (sglodion ymyl / mewnoliadau)

Dim

Garwedd cefn

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Marcio laser cefn

1 mm (o ymyl uchaf)

Ymyl

Ymyl

Chamfer

Pecynnu

Pecynnu

Epi-barod gyda phecynnu gwactod

Pecynnu casét aml-waffer

* Nodiadau: Mae "NA" yn golygu dim cais Gall eitemau na chrybwyllir gyfeirio at SEMI-STD.

tech_1_2_maint
wafferi SiC

Gweithle Semicera Gweithle Semicera 2 Peiriant offer Prosesu CNN, glanhau cemegol, cotio CVD Ein gwasanaeth


  • Pâr o:
  • Nesaf: