Mae'rMOCVDdull yw un o'r prosesau mwyaf sefydlog a ddefnyddir ar hyn o bryd yn y diwydiant i dyfu ffilmiau tenau crisialog sengl o ansawdd uchel, megis epilayers InGaN un cam, deunyddiau III-N, a ffilmiau lled-ddargludyddion gyda strwythurau ffynnon aml-cwantwm, ac mae o arwyddocâd mawr yn y gweithgynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion ac optoelectroneg.
Mae'rSiC cotio MOCVD susceptoryn ddeiliad wafferi arbenigol gorchuddio â silicon carbide (SiC) ar gyferepitaxial twf yn y broses dyddodi anwedd cemegol organig metel (MOCVD).
Mae gan y cotio SiC ymwrthedd cemegol rhagorol a sefydlogrwydd thermol, sy'n ei wneud yn ddewis delfrydol ar gyfer atalyddion MOCVD a ddefnyddir mewn prosesau twf epitaxial heriol.
Elfen allweddol o'r broses MOCVD yw'r susceptor, sy'n elfen allweddol i sicrhau unffurfiaeth ac ansawdd y ffilmiau tenau a gynhyrchir.
Beth yw susceptor? Mae'r susceptor yn gydran arbenigol a ddefnyddir yn y broses MOCVD i gynnal a gwresogi'r swbstrad y mae'r ffilm denau wedi'i ddyddodi arno. Mae ganddo swyddogaethau lluosog, gan gynnwys amsugno ynni electromagnetig, ei drawsnewid yn wres, a dosbarthu'r gwres ar y swbstrad yn gyfartal. Mae'r gwresogi unffurf hwn yn hanfodol ar gyfer twf ffilmiau tenau unffurf gyda thrwch a chyfansoddiad manwl gywir.
Mathau o susceptors:
1. Susceptors graffit: Mae susceptors graffit yn aml wedi'u gorchuddio â haen amddiffynnol megiscarbid silicon (SiC), sy'n adnabyddus am ei dargludedd thermol uchel a sefydlogrwydd. Mae'rCotio SiCyn darparu arwyneb caled, amddiffynnol sy'n gwrthsefyll cyrydiad a diraddio ar dymheredd uchel.
2. Susceptors Silicon carbide (SiC): Mae'r atalyddion hyn yn cael eu gwneud yn gyfan gwbl o SiC ac mae ganddynt sefydlogrwydd thermol ardderchog a gwrthsefyll gwisgo. Mae atalyddion SiC yn arbennig o addas ar gyfer prosesau tymheredd uchel ac amgylcheddau cyrydol.
Sut mae tanwyr yn gweithio yn MOCVD:
Yn y broses MOCVD, cyflwynir rhagflaenwyr i'r siambr adwaith lle maent yn dadelfennu ac yn adweithio i ffurfio ffilm denau ar y swbstrad. Mae'r susceptor yn chwarae rhan hanfodol trwy sicrhau bod y swbstrad yn cael ei gynhesu'n gyfartal, sy'n hanfodol i sicrhau priodweddau ffilm cyson ar draws wyneb cyfan y swbstrad. Mae deunydd a dyluniad y susceptor yn cael eu dewis yn ofalus i fodloni gofynion penodol y broses dyddodi, megis ystod tymheredd a chydnawsedd cemegol.
Manteision defnyddio susceptors o ansawdd uchel:
• Gwell ansawdd ffilm: Trwy ddarparu dosbarthiad gwres unffurf, mae'r susceptor yn helpu i gyflawni ffilmiau â thrwch a chyfansoddiad cyson, sy'n hanfodol i berfformiad dyfeisiau lled-ddargludyddion.
• Gwell effeithlonrwydd prosesau: Mae amheuwyr o ansawdd uchel yn cynyddu effeithlonrwydd cyffredinol y broses MOCVD trwy leihau'r tebygolrwydd o ddiffygion a chynyddu'r cynnyrch o ffilmiau y gellir eu defnyddio.
• Hyd oes a dibynadwyedd: Mae atalyddion wedi'u gwneud o ddeunyddiau gwydn fel SiC yn sicrhau dibynadwyedd hirdymor ac yn lleihau costau cynnal a chadw.
Mae'r susceptor yn rhan annatod o'r broses MOCVD ac mae'n effeithio'n uniongyrchol ar ansawdd ac effeithlonrwydd dyddodiad ffilm tenau. I gael rhagor o wybodaeth am y meintiau sydd ar gael, rhagdybwyr MOCVD a phrisiau, mae croeso i chi gysylltu â ni. Bydd ein peirianwyr yn hapus i'ch cynghori ar ddeunyddiau addas ac ateb eich holl gwestiynau.
Ffôn: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Amser postio: Awst-12-2024