RHAN 1
Dull CVD (Dyddodiad Anwedd Cemegol):
Ar 900-2300 ℃, gan ddefnyddio TaCl5a CnHm fel ffynonellau tantalwm a charbon, H₂ fel atmosffer rhydwytho, Ar₂fel nwy cludo, ffilm dyddodiad adwaith.Mae'r cotio parod yn gryno, yn unffurf ac yn burdeb uchel.Fodd bynnag, mae rhai problemau megis proses gymhleth, cost ddrud, rheoli llif aer anodd ac effeithlonrwydd dyddodiad isel.
RHAN/2
Dull sintro slyri:
Mae'r slyri sy'n cynnwys ffynhonnell carbon, ffynhonnell tantalwm, gwasgarydd a rhwymwr wedi'i orchuddio ar y graffit a'i sintered ar dymheredd uchel ar ôl ei sychu.Mae'r cotio parod yn tyfu heb gyfeiriadedd rheolaidd, mae ganddo gost isel ac mae'n addas ar gyfer cynhyrchu ar raddfa fawr.Mae'n dal i gael ei archwilio i gyflawni cotio unffurf a llawn ar graffit mawr, dileu diffygion cymorth a gwella grym bondio cotio.
RHAN/3
Dull chwistrellu plasma:
Mae powdr TaC yn cael ei doddi gan arc plasma ar dymheredd uchel, ei atomized i mewn i ddefnynnau tymheredd uchel gan jet cyflym, a'i chwistrellu ar wyneb deunydd graffit.Mae'n hawdd ffurfio haen ocsid o dan wactod, ac mae'r defnydd o ynni yn fawr.
Ffigur .Hambwrdd wafferi ar ôl ei ddefnyddio mewn dyfais MOCVD a dyfwyd yn epitaxial GaN (Veeco P75).Mae'r un ar y chwith wedi'i gorchuddio â TaC ac mae'r un ar y dde wedi'i gorchuddio â SiC.
TaC gorchuddiomae angen datrys rhannau graffit
RHAN 1
Grym rhwymol:
Mae'r cyfernod ehangu thermol a phriodweddau ffisegol eraill rhwng TaC a deunyddiau carbon yn wahanol, mae cryfder bondio'r cotio yn isel, mae'n anodd osgoi craciau, mandyllau a straen thermol, ac mae'r cotio yn hawdd ei blicio yn yr awyrgylch gwirioneddol sy'n cynnwys pydredd a broses codi ac oeri dro ar ôl tro.
RHAN/2
Purdeb:
Cotio TaCMae angen iddo fod yn burdeb tra-uchel i osgoi amhureddau a llygredd o dan amodau tymheredd uchel, ac mae angen cytuno ar safonau cynnwys effeithiol a safonau nodweddu carbon rhad ac am ddim ac amhureddau cynhenid ar wyneb a thu mewn i'r cotio llawn.
RHAN/3
Sefydlogrwydd:
Gwrthiant tymheredd uchel ac ymwrthedd awyrgylch cemegol uwchlaw 2300 ℃ yw'r dangosyddion pwysicaf i brofi sefydlogrwydd y cotio.Mae tyllau pin, craciau, corneli coll, a ffiniau grawn cyfeiriadedd sengl yn hawdd i achosi nwyon cyrydol i dreiddio a threiddio i'r graffit, gan arwain at fethiant amddiffyn cotio.
RHAN/4
Gwrthiant ocsideiddio:
Mae TaC yn dechrau ocsideiddio i Ta2O5 pan fydd yn uwch na 500 ℃, ac mae'r gyfradd ocsideiddio yn cynyddu'n sydyn gyda chynnydd tymheredd a chrynodiad ocsigen.Mae'r ocsidiad arwyneb yn dechrau o'r ffiniau grawn a grawn bach, ac yn raddol yn ffurfio crisialau colofnog a chrisialau wedi torri, gan arwain at nifer fawr o fylchau a thyllau, ac mae ymdreiddiad ocsigen yn dwysáu nes bod y cotio yn cael ei dynnu.Mae gan yr haen ocsid canlyniadol ddargludedd thermol gwael ac amrywiaeth o liwiau o ran ymddangosiad.
RHAN/5
Unffurfiaeth a garwder:
Gall dosbarthiad anwastad yr arwyneb cotio arwain at grynodiad straen thermol lleol, gan gynyddu'r risg o gracio a asglodi.Yn ogystal, mae garwedd wyneb yn effeithio'n uniongyrchol ar y rhyngweithio rhwng y cotio a'r amgylchedd allanol, ac mae garwedd rhy uchel yn arwain yn hawdd at fwy o ffrithiant gyda'r wafer a maes thermol anwastad.
RHAN/6
Maint grawn:
Mae maint grawn unffurf yn helpu sefydlogrwydd y cotio.Os yw'r maint grawn yn fach, nid yw'r bond yn dynn, ac mae'n hawdd ei ocsidio a'i gyrydu, gan arwain at nifer fawr o graciau a thyllau yn yr ymyl grawn, sy'n lleihau perfformiad amddiffynnol y cotio.Os yw maint y grawn yn rhy fawr, mae'n gymharol arw, ac mae'r cotio yn hawdd i'w fflawio o dan straen thermol.
Amser post: Mar-05-2024