Tantalum carbide (TaC)yn ddeunydd cerameg gwrthsefyll tymheredd uwch-uchel gyda manteision pwynt toddi uchel, caledwch uchel, sefydlogrwydd cemegol da, dargludedd trydanol a thermol cryf, ac ati.cotio TaCgellir ei ddefnyddio fel cotio sy'n gwrthsefyll abladiad, cotio sy'n gwrthsefyll ocsidiad, a gorchudd sy'n gwrthsefyll traul, ac fe'i defnyddir yn eang mewn amddiffyn thermol awyrofod, twf crisial sengl lled-ddargludyddion trydydd cenhedlaeth, electroneg ynni a meysydd eraill.
Proses:
Tantalum carbide (TaC)yn fath o ddeunydd cerameg gwrthsefyll tymheredd uwch-uchel gyda manteision pwynt toddi uchel, caledwch uchel, sefydlogrwydd cemegol da, dargludedd trydanol a thermol cryf. Felly,cotio TaCgellir ei ddefnyddio fel cotio sy'n gwrthsefyll abladiad, cotio sy'n gwrthsefyll ocsidiad, a gorchudd sy'n gwrthsefyll traul, ac fe'i defnyddir yn eang mewn amddiffyn thermol awyrofod, twf crisial sengl lled-ddargludyddion trydydd cenhedlaeth, electroneg ynni a meysydd eraill.
Nodwedd gynhenid o haenau:
Rydym yn defnyddio'r dull sintio slyri i baratoihaenau TaCo wahanol drwch ar swbstradau graffit o wahanol feintiau. Yn gyntaf, mae powdr purdeb uchel sy'n cynnwys ffynhonnell Ta a ffynhonnell C wedi'i ffurfweddu gyda gwasgarydd a rhwymwr i ffurfio slyri rhagflaenydd unffurf a sefydlog. Ar yr un pryd, yn ôl maint y rhannau graffit a gofynion trwch ocotio TaC, mae'r cyn-gorchuddio yn cael ei baratoi trwy chwistrellu, arllwys, ymdreiddiad a ffurfiau eraill. Yn olaf, caiff ei gynhesu i uwch na 2200 ℃ mewn amgylchedd gwactod i baratoi gwisg unffurf, trwchus, un cam, a chrisialog.cotio TaC.
Nodwedd gynhenid o haenau:
Mae trwch ocotio TaCtua 10-50 μm, mae'r grawn yn tyfu mewn cyfeiriadedd rhad ac am ddim, ac mae'n cynnwys TaC gyda strwythur ciwbig un cam sy'n canolbwyntio ar wyneb, heb amhureddau eraill; mae'r cotio yn drwchus, mae'r strwythur yn gyflawn, ac mae'r crisialu yn uchel.cotio TaCyn gallu llenwi'r mandyllau ar wyneb graffit, ac mae wedi'i fondio'n gemegol i'r matrics graffit gyda chryfder bondio uchel. Mae'r gymhareb o Ta i C yn y cotio yn agos at 1:1. Mae safon cyfeirio canfod purdeb GDMS ASTM F1593, mae'r crynodiad amhuredd yn llai na 121ppm. Gwyriad cymedrig rhifyddol (Ra) y proffil cotio yw 662nm.
Ceisiadau Cyffredinol:
GaN aSiC epitaxialCydrannau adweithyddion CVD, gan gynnwys cludwyr wafferi, dysglau lloeren, pennau cawod, gorchuddion top a dalyddion.
Cydrannau tyfiant grisial SiC, GaN ac AlN, gan gynnwys crucibles, dalwyr crisial hadau, canllawiau llif a hidlwyr.
Cydrannau diwydiannol, gan gynnwys elfennau gwresogi gwrthiannol, nozzles, cylchoedd cysgodi a gosodiadau presyddu.
Nodweddion allweddol:
Sefydlogrwydd tymheredd uchel ar 2600 ℃
Yn darparu amddiffyniad cyflwr cyson mewn amgylcheddau cemegol llym H2, NH3, SiH4a Si anwedd
Yn addas ar gyfer cynhyrchu màs gyda chylchoedd cynhyrchu byr.
