Erscrucibleyn cael ei ddefnyddio fel cynhwysydd ac mae darfudiad y tu mewn, wrth i faint y grisial sengl a gynhyrchir gynyddu, mae darfudiad gwres ac unffurfiaeth graddiant tymheredd yn dod yn fwy anodd ei reoli. Trwy ychwanegu maes magnetig i wneud y weithred toddi dargludol ar rym Lorentz, gellir arafu darfudiad neu hyd yn oed ei ddileu i gynhyrchu silicon crisial sengl o ansawdd uchel.
Yn ôl y math o faes magnetig, gellir ei rannu'n faes magnetig llorweddol, maes magnetig fertigol a maes magnetig CUSP:
Ni all maes magnetig fertigol ddileu'r prif ddarfudiad oherwydd rhesymau strwythurol ac anaml y caiff ei ddefnyddio.
Mae cyfeiriad cydran maes magnetig y maes magnetig llorweddol yn berpendicwlar i'r prif ddarfudiad gwres a darfudiad rhannol orfodol y wal crucible, a all atal symudiad yn effeithiol, cynnal gwastadrwydd y rhyngwyneb twf, a lleihau streipiau twf.
Mae gan faes magnetig CUSP lif mwy unffurf a throsglwyddiad gwres o doddi oherwydd ei gymesuredd, felly mae'r ymchwil ar feysydd magnetig fertigol a CUSP wedi bod yn mynd law yn llaw.
Yn Tsieina, mae Prifysgol Technoleg Xi'an wedi sylweddoli cynhyrchu a thynnu grisial arbrofion crisialau sengl silicon gan ddefnyddio meysydd magnetig yn gynharach. Ei brif gynnyrch yw mathau poblogaidd 6-8in, sydd wedi'u hanelu at y farchnad wafferi silicon ar gyfer celloedd ffotofoltäig solar. Mewn gwledydd tramor, megis KAYEX yn yr Unol Daleithiau a CGS yn yr Almaen, eu prif gynnyrch yw 8-16in, sy'n addas ar gyfer gwiail silicon grisial sengl ar lefel cylchedau integredig ar raddfa fawr a lled-ddargludyddion. Mae ganddyn nhw fonopoli ym maes meysydd magnetig ar gyfer twf crisialau sengl o ansawdd uchel â diamedr mawr a nhw yw'r rhai mwyaf cynrychioliadol.
Y dosbarthiad maes magnetig yn ardal crucible y system twf grisial sengl yw'r rhan fwyaf hanfodol o'r magnet, gan gynnwys cryfder ac unffurfiaeth y maes magnetig ar ymyl y crucible, canol y crucible, a'r priodol pellter o dan yr wyneb hylif. Y maes magnetig trawslin llorweddol ac unffurf cyffredinol, mae'r llinellau magnetig grym yn berpendicwlar i'r echelin twf grisial. Yn ôl yr effaith magnetig a chyfraith Ampere, y coil sydd agosaf at ymyl y crucible a chryfder y maes yw'r mwyaf. Wrth i'r pellter gynyddu, mae'r gwrthiant magnetig aer yn cynyddu, mae cryfder y cae yn gostwng yn raddol, a dyma'r lleiaf yn y canol.
Rôl maes magnetig uwch-ddargludo
Atal darfudiad thermol: Yn absenoldeb maes magnetig allanol, bydd silicon tawdd yn cynhyrchu darfudiad naturiol yn ystod gwresogi, a all arwain at ddosbarthiad anwastad o amhureddau a ffurfio diffygion grisial. Gall y maes magnetig allanol atal y darfudiad hwn, gan wneud y dosbarthiad tymheredd y tu mewn i'r toddi yn fwy unffurf a lleihau dosbarthiad anwastad amhureddau.
Rheoli cyfradd twf grisial: Gall y maes magnetig effeithio ar gyfradd a chyfeiriad twf grisial. Trwy reoli cryfder a dosbarthiad y maes magnetig yn fanwl gywir, gellir optimeiddio'r broses twf grisial a gellir gwella uniondeb ac unffurfiaeth y grisial. Yn ystod twf silicon crisial sengl, mae ocsigen yn mynd i mewn i'r toddi silicon yn bennaf trwy symudiad cymharol y toddi a'r crucible. Mae'r maes magnetig yn lleihau'r siawns y bydd ocsigen yn cysylltu â'r toddi silicon trwy leihau darfudiad y toddi, a thrwy hynny leihau diddymiad ocsigen. Mewn rhai achosion, gall y maes magnetig allanol newid amodau thermodynamig y toddi, megis trwy newid tensiwn wyneb y toddi, a all helpu i anweddoli ocsigen, a thrwy hynny leihau'r cynnwys ocsigen yn y toddi.
Lleihau diddymiad ocsigen ac amhureddau eraill: Ocsigen yw un o'r amhureddau cyffredin yn nhwf crisialau silicon, a fydd yn achosi i ansawdd y grisial ddirywio. Gall y maes magnetig leihau'r cynnwys ocsigen yn y toddi, a thrwy hynny leihau diddymiad ocsigen yn y grisial a gwella purdeb y grisial.
Gwella strwythur mewnol y grisial: Gall y maes magnetig effeithio ar y strwythur diffyg y tu mewn i'r grisial, megis dadleoliadau a ffiniau grawn. Trwy leihau nifer y diffygion hyn ac effeithio ar eu dosbarthiad, gellir gwella ansawdd cyffredinol y grisial.
Gwella priodweddau trydanol crisialau: Gan fod meysydd magnetig yn cael effaith sylweddol ar y microstrwythur yn ystod twf grisial, gallant wella priodweddau trydanol crisialau, megis gwrthedd ac oes cludwr, sy'n hanfodol ar gyfer gweithgynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion perfformiad uchel.
Croeso i unrhyw gwsmeriaid o bob cwr o'r byd ymweld â ni am drafodaeth bellach!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Amser post: Gorff-24-2024