Beth yw'r prif gamau wrth brosesu swbstradau SiC?

Mae sut rydym yn cynhyrchu-prosesu camau ar gyfer swbstradau SiC fel a ganlyn:

1. Cyfeiriadedd Grisial: Defnyddio diffreithiant pelydr-X i gyfeirio'r ingot grisial. Pan fydd trawst pelydr-X yn cael ei gyfeirio at yr wyneb grisial dymunol, mae ongl y trawst diffreithio yn pennu cyfeiriadedd y grisial.

2. Malu Diamedr Allanol: Mae crisialau sengl a dyfir mewn crucibles graffit yn aml yn fwy na diamedrau safonol. Mae malu diamedr allanol yn eu lleihau i feintiau safonol.

 

Grindio Wyneb 3.End: Yn nodweddiadol mae gan swbstradau 4-modfedd 4H-SiC ddau ymyl lleoli, cynradd ac uwchradd. Mae malu wyneb diwedd yn agor yr ymylon lleoli hyn.

4. Lifio Wire: Mae llifio gwifrau yn gam hanfodol wrth brosesu swbstradau 4H-SiC. Mae craciau a difrod is-wyneb a achosir yn ystod llifio gwifrau yn effeithio'n negyddol ar brosesau dilynol, gan ymestyn amser prosesu ac achosi colled deunydd. Y dull mwyaf cyffredin yw llifio aml-wifren gyda sgraffiniad diemwnt. Defnyddir mudiant cilyddol o wifrau metel wedi'u bondio â sgraffinyddion diemwnt i dorri'r ingot 4H-SiC.

5. Siampio: Er mwyn atal naddu ymyl a lleihau colledion traul yn ystod prosesau dilynol, mae ymylon miniog y sglodion wedi'u llifio â gwifren yn siamffrog i siapiau penodedig.

6. Teneuo: Mae llifio gwifrau yn gadael llawer o grafiadau ac iawndal o dan yr wyneb. Gwneir teneuo gan ddefnyddio olwynion diemwnt i gael gwared â'r diffygion hyn gymaint â phosibl.

7. Malu: Mae'r broses hon yn cynnwys malu garw a malu dirwy gan ddefnyddio carbid boron maint llai neu sgraffinyddion diemwnt i gael gwared ar iawndal gweddilliol ac iawndal newydd a gyflwynwyd yn ystod teneuo.

8. sgleinio: Mae'r camau olaf yn cynnwys caboli garw a sgleinio mân gan ddefnyddio sgraffinyddion alwmina neu silicon ocsid. Mae'r hylif caboli yn meddalu'r wyneb, sydd wedyn yn cael ei dynnu'n fecanyddol gan sgraffinyddion. Mae'r cam hwn yn sicrhau arwyneb llyfn a heb ei ddifrodi.

9. Glanhau: Tynnu gronynnau, metelau, ffilmiau ocsid, gweddillion organig, a halogion eraill a adawyd o'r camau prosesu.