Mae pen blaen y llinell gynhyrchu fel gosod y sylfaen ac adeiladu waliau tŷ. Mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae'r cam hwn yn golygu creu'r strwythurau a'r transistorau sylfaenol ar wafer silicon.
Camau Allweddol FEOL:
1. Glanhau:Dechreuwch â wafer silicon tenau a'i lanhau i gael gwared ar unrhyw amhureddau.
2. Ocsidiad:Tyfwch haen o silicon deuocsid ar y wafer i ynysu gwahanol rannau o'r sglodion.
3. Ffotolithograffeg:Defnyddiwch ffotolithograffeg i ysgythru patrymau ar y waffer, yn debyg i luniadu glasbrintiau gyda golau.
4. Ysgythriad:Ysgythru silicon deuocsid diangen i ddatgelu'r patrymau dymunol.
5. Cyffuriau:Cyflwyno amhureddau i'r silicon i newid ei briodweddau trydanol, gan greu transistorau, blociau adeiladu sylfaenol unrhyw sglodyn.
Canol Diwedd y Llinell (MEOL): Connecting the Dots
Mae pen canol y llinell gynhyrchu fel gosod gwifrau a phlymio mewn tŷ. Mae'r cam hwn yn canolbwyntio ar sefydlu cysylltiadau rhwng y transistorau a grëwyd yn y cam FEOL.
Camau Allweddol MEOL:
1. Dyddodiad Dielectric:Adneuo haenau inswleiddio (a elwir yn dielectrics) i amddiffyn y transistorau.
2. Ffurfio Cyswllt:Ffurfio cysylltiadau i gysylltu'r transistorau â'i gilydd a'r byd y tu allan.
3. Rhyng-gysylltu:Ychwanegu haenau metel i greu llwybrau ar gyfer signalau trydanol, yn debyg i weirio tŷ i sicrhau pŵer di-dor a llif data.
Yn ôl Diwedd y Llinell (BEOL): Gorffen Cyffyrddiadau
-
Mae pen ôl y llinell gynhyrchu fel ychwanegu'r cyffyrddiadau olaf i dŷ - gosod gosodiadau, paentio, a sicrhau bod popeth yn gweithio. Mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae'r cam hwn yn cynnwys ychwanegu'r haenau terfynol a pharatoi'r sglodion ar gyfer pecynnu.
Camau Allweddol BEOL:
1. Haenau Metel Ychwanegol:Ychwanegu haenau metel lluosog i wella rhyng-gysylltedd, gan sicrhau y gall y sglodyn drin tasgau cymhleth a chyflymder uchel.
2. Passivation:Defnyddiwch haenau amddiffynnol i gysgodi'r sglodion rhag difrod amgylcheddol.
3. Profi:Gwnewch brofion trylwyr ar y sglodyn i sicrhau ei fod yn bodloni'r holl fanylebau.
4. Deisio:Torrwch y waffer yn sglodion unigol, pob un yn barod i'w becynnu a'i ddefnyddio mewn dyfeisiau electronig.
Amser postio: Gorff-08-2024