Silicon carbid (SiC) epitacsi
Mae'r hambwrdd epitaxial, sy'n dal y swbstrad SiC ar gyfer tyfu'r sleisen epitaxial SiC, wedi'i osod yn y siambr adwaith ac yn cysylltu'n uniongyrchol â'r wafer.
Mae'r rhan hanner lleuad uchaf yn gludwr ar gyfer ategolion eraill siambr adwaith offer epitaxy Sic, tra bod y rhan hanner lleuad isaf wedi'i gysylltu â'r tiwb cwarts, gan gyflwyno'r nwy i yrru sylfaen y daliwr i gylchdroi. maent yn gallu rheoli tymheredd a'u gosod yn y siambr adwaith heb gysylltiad uniongyrchol â'r wafer.
Si epitaxy
Mae'r hambwrdd, sy'n dal y swbstrad Si ar gyfer tyfu'r sleisen epitaxial Si, wedi'i osod yn y siambr adwaith ac yn cysylltu'n uniongyrchol â'r wafer.
Mae'r cylch cynhesu wedi'i leoli ar gylch allanol yr hambwrdd swbstrad epitaxial Si ac fe'i defnyddir ar gyfer graddnodi a gwresogi. Fe'i gosodir yn y siambr adwaith ac nid yw'n cysylltu'n uniongyrchol â'r wafer.
Susceptor epitaxial, sy'n dal y swbstrad Si ar gyfer tyfu sleisen epitaxial Si, wedi'i osod yn y siambr adwaith ac yn cysylltu'n uniongyrchol â'r wafer.
Mae casgen epitaxial yn gydrannau allweddol a ddefnyddir mewn amrywiol brosesau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, a ddefnyddir yn gyffredinol mewn offer MOCVD, gyda sefydlogrwydd thermol rhagorol, ymwrthedd cemegol a gwrthsefyll gwisgo, sy'n addas iawn i'w ddefnyddio mewn prosesau tymheredd uchel. Mae'n cysylltu â'r wafferi.
| Priodweddau ffisegol Silicon Carbide wedi'i Ailgrisialu | |
| Eiddo | Gwerth Nodweddiadol |
| Tymheredd gweithio (°C) | 1600 ° C (gydag ocsigen), 1700 ° C (amgylchedd lleihau) |
| Cynnwys SiC | > 99.96% |
| Cynnwys Si am ddim | <0.1% |
| Dwysedd swmp | 2.60-2.70 g / cm3 |
| Mandylledd ymddangosiadol | < 16% |
| Cryfder cywasgu | > 600 MPa |
| Cryfder plygu oer | 80-90 MPa (20 ° C) |
| Cryfder plygu poeth | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| Ehangu thermol @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°C |
| Dargludedd thermol @ 1200 ° C | 23 W/m•K |
| Modwlws elastig | 240 GPa |
| Gwrthiant sioc thermol | Hynod o dda |
| Priodweddau ffisegol Sintered Silicon Carbide | |
| Eiddo | Gwerth Nodweddiadol |
| Cyfansoddiad Cemegol | SiC>95%, Si<5% |
| Swmp Dwysedd | >3.07 g/cm³ |
| Mandylledd ymddangosiadol | <0.1% |
| Modwlws rhwyg ar 20 ℃ | 270 MPa |
| Modwlws rhwyg ar 1200 ℃ | 290 MPa |
| Caledwch ar 20 ℃ | 2400 Kg/mm² |
| Gwydnwch torri asgwrn ar 20% | 3.3 MPa · m1/2 |
| Dargludedd Thermol ar 1200 ℃ | 45 w/m .K |
| Ehangu thermol ar 20-1200 ℃ | 4.5 1 ×10 -6/℃ |
| Tymheredd Max.working | 1400 ℃ |
| Gwrthiant sioc thermol ar 1200 ℃ | Da |
| Priodweddau ffisegol sylfaenol ffilmiau CVD SiC | |
| Eiddo | Gwerth Nodweddiadol |
| Strwythur grisial | Cyngor Sir y Fflint β cyfnod polycrystalline, bennaf (111) oriented |
| Dwysedd | 3.21 g / cm³ |
| Caledwch 2500 | （500g llwyth） |
| Maint Grawn | 2 ~ 10μm |
| Purdeb Cemegol | 99.99995% |
| Cynhwysedd Gwres | 640 J·kg-1·K-1 |
| Tymheredd sublimation | 2700 ℃ |
| Cryfder Hyblyg | 415 MPa RT 4-pwynt |
| Modwlws Young | Tro 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
| Dargludedd Thermol | 300W·m-1·K-1 |
| Ehangu Thermol (CTE) | 4.5×10-6 K -1 |
Prif nodweddion
Mae'r wyneb yn drwchus ac yn rhydd o fandyllau.
Purdeb uchel, cyfanswm cynnwys amhuredd <20ppm, aerglosrwydd da.
Gwrthiant tymheredd uchel, cryfder yn cynyddu gyda thymheredd defnydd cynyddol, gan gyrraedd y gwerth uchaf ar 2750 ℃, sychdarthiad ar 3600 ℃.
Modwlws elastig isel, dargludedd thermol uchel, cyfernod ehangu thermol isel, ac ymwrthedd sioc thermol ardderchog.
Sefydlogrwydd cemegol da, sy'n gallu gwrthsefyll asid, alcali, halen, ac adweithyddion organig, ac nid yw'n cael unrhyw effaith ar fetelau tawdd, slag, a chyfryngau cyrydol eraill. Nid yw'n ocsideiddio'n sylweddol yn yr atmosffer o dan 400 C, ac mae'r gyfradd ocsideiddio yn cynyddu'n sylweddol ar 800 ℃.
Heb ryddhau unrhyw nwy ar dymheredd uchel, gall gynnal gwactod o 10-7mmHg ar tua 1800 ° C.
Cais cynnyrch
Crwsibl toddi ar gyfer anweddu mewn diwydiant lled-ddargludyddion.
Giât tiwb electronig pŵer uchel.
Brws sy'n cysylltu â'r rheolydd foltedd.
Monocromator graffit ar gyfer pelydr-X a niwtron.
Siapiau amrywiol o swbstradau graffit a gorchudd tiwb amsugno atomig.
Effaith cotio carbon pyrolytig o dan ficrosgop 500X, gydag arwyneb cyfan ac wedi'i selio.
Cotio TaC yw'r genhedlaeth newydd o ddeunydd gwrthsefyll tymheredd uchel, gyda gwell sefydlogrwydd tymheredd uchel na SiC. Fel cotio sy'n gwrthsefyll cyrydiad, cotio gwrth-ocsidiad a gorchudd sy'n gwrthsefyll traul, gellir ei ddefnyddio yn yr amgylchedd uwchlaw 2000C, a ddefnyddir yn eang mewn rhannau diwedd poeth tymheredd uwch-uchel awyrofod, y trydydd cenhedlaeth lled-ddargludyddion meysydd twf grisial sengl.
| Priodweddau ffisegol cotio TaC | |
| Dwysedd | 14.3 (g/cm3) |
| Allyriad penodol | 0.3 |
| Cyfernod ehangu thermol | 6.3 10/K |
| Caledwch (HK) | 2000 HK |
| Gwrthsafiad | 1x10-5 Ohm*cm |
| Sefydlogrwydd thermol | <2500 ℃ |
| Newidiadau maint graffit | -10 ~-20wm |
| Trwch cotio | ≥220um gwerth nodweddiadol (35um ±10um) |
Mae rhannau solet CARBID SILICON CVD yn cael eu cydnabod fel y prif ddewis ar gyfer modrwyau a seiliau RTP / EPI a rhannau ceudod ysgythru plasma sy'n gweithredu ar dymheredd gweithredu gofynnol system uchel (> 1500 ° C), mae'r gofynion purdeb yn arbennig o uchel (> 99.9995%) ac mae'r perfformiad yn arbennig o dda pan fo'r ymwrthedd i gemegau yn arbennig o uchel. Nid yw'r deunyddiau hyn yn cynnwys cyfnodau eilaidd ar ymyl y grawn, felly mae'r cydrannau'n cynhyrchu llai o ronynnau na deunyddiau eraill. Yn ogystal, gellir glanhau'r cydrannau hyn gan ddefnyddio HF / HCI poeth heb fawr o ddiraddio, gan arwain at lai o ronynnau a bywyd gwasanaeth hirach.
